Revoluce v přesnosti řezání waferů! Jak udržet polohu ±5 μm pro žulový podstavec?

V rozhodující bitvě o „nanopreciznost“ ve výrobě polovodičů může i sebemenší chyba v zařízení pro řezání destiček proměnit čip v odpad. Žulová základna je neopěvovaným hrdinou, který řídí přesnost opakování polohování ±5 μm a přepisuje pravidla přesné výroby se svými třemi přírodními divy.

„Stabilizační kotva“ proti tepelné deformaci: Koeficient tepelné roztažnosti žuly je pouhých 5–7 × 10⁻⁶/℃, což je pouze jedna třetina koeficientu kovových materiálů. V důsledku tepelného působení generovaného vysokorychlostním provozem řezacího zařízení na destičky se běžné materiály deformují v důsledku tepelné roztažnosti a smršťování, což způsobuje posun polohy řezné hlavy. Žulová základna však může zůstat „nehybná“, čímž se zásadně eliminuje odchylka polohování způsobená tepelnou deformací a položí se pevný základ pro přesnost.

„Tichý štít“ absorpce vibrací: Neustálý řev obráběcích strojů a nepřetržité vibrace zařízení v dílně lze považovat za „smrtící zabijáky“ přesnosti. Unikátní krystalová struktura žuly je jako přírodní tlumič nárazů, schopný rychle přeměnit vnější vibrace a mechanické vibrace generované provozem zařízení na tepelnou energii pro rozptyl. Zatímco jiné základny se v důsledku vibrací stále „kymácejí“, žulová základna vytvořila stabilní platformu pro řeznou hlavu, která zůstává nehybná, což umožňuje přesnost ±5 μm.

Korozivzdorná „věčná pevnost“: Dílny na polovodičové výrobky jsou plné korozivních látek, jako jsou leptací roztoky a kyselé a alkalické čisticí prostředky. V takovém prostředí kovové základny postupně rezaví a deformují se. Žula, která má svou inherentní chemickou stabilitu, s těmito chemickými látkami vůbec nereaguje. Bez ohledu na to, kolik let se používá, si dokáže zachovat strukturální integritu a neustále zajišťovat vysoce přesné řezání.

Od talentu pro materiály až po ultra přesné zpracování, žulová základna svou silou prokázala, že ne všechny materiály dokážou splnit náročné nároky výroby polovodičů. Právě díky těmto nenahraditelným přírodním výhodám se žulové základny staly klíčem k dosažení přesnosti opakovatelného polohování ±5 μm pro zařízení na řezání destiček a dále vedly polovodičový průmysl k neustálému směřování k vyšší přesnosti!

přesná žula14


Čas zveřejnění: 14. května 2025