Revoluce přesnosti ve výrobě polovodičů: Když se žula setkává s mikronovou technologií
1.1 Neočekávané objevy v materiálové vědě
Podle zprávy Mezinárodní asociace polovodičů SEMI z roku 2023 začalo 63 % světových vyspělých továren používat žulové základny místo tradičních kovových platforem. Tento přírodní kámen, který pochází z kondenzace magmatu hluboko v Zemi, přepisuje historii výroby polovodičů díky svým jedinečným fyzikálním vlastnostem:
Výhoda tepelné setrvačnosti: koeficient tepelné roztažnosti žuly 4,5 × 10⁻⁶/℃ je pouze 1/5 koeficientu tepelné roztažnosti nerezové oceli a rozměrová stabilita ±0,001 mm je zachována při nepřetržité práci litografického stroje.
Charakteristiky tlumení vibrací: koeficient vnitřního tření je 15krát vyšší než u litiny, což účinně absorbuje mikrovibrace zařízení
Nulová magnetizace: zcela eliminuje magnetickou chybu při laserovém měření
1.2 Cesta metamorfózy od dolu k továrně
Vezměme si jako příklad inteligentní výrobní základnu ZHHIMG v Shandongu, kus surové žuly musí projít:
Ultrapřesné obrábění: pětiosé obráběcí centrum s táhlem pro 200 hodin nepřetržitého frézování, drsnost povrchu až Ra0,008μm
Umělé stárnutí: 48 hodin přirozeného uvolnění pnutí v dílně s konstantní teplotou a vlhkostí, což zlepšuje stabilitu produktu o 40 %.
Za druhé, rozluštit šest problémů s přesností výroby polovodičů „skalní řešení“
2.1 Schéma snižování míry fragmentace destiček
Případová ukázka: Poté, co slévárna třísek v Německu zavedla naši platformu s plovoucí žulou plynovou technologií:
| Průměr destičky | snížení rychlosti třísek | zlepšení rovinnosti |
| 12 palců | 67 % | ≤0,001 mm |
| 18 palců | 82 % | ≤0,0005 mm |
2.2 Schéma průlomu přesnosti litografického zarovnání
Systém teplotní kompenzace: vestavěný keramický senzor monitoruje tvarovou proměnnou v reálném čase a automaticky upravuje sklon plošiny
Naměřená data: při kolísání teploty 28 ℃ ± 5 ℃ kolísá přesnost zapuštění o méně než 0,12 μm
Čas zveřejnění: 24. března 2025