V oblasti přesné výroby a vědeckého výzkumu je rovinnost přesných žulových plošin klíčovým ukazatelem pro zajištění přesnosti zařízení. Následuje podrobný úvod do několika běžných detekčních metod a jejich provozních postupů.
I. Metoda detekce laserovým interferometrem
Laserový interferometr je preferovaným nástrojem pro vysoce přesnou detekci rovinnosti. Vezměte si například laserový interferometr ZYGO GPI XP, jehož rozlišení může dosáhnout 0,1 nm. Při provádění detekce se nejprve zarovná světelný zdroj interferometru s platformou a povrch platformy se rozdělí na mřížkové oblasti 50 mm × 50 mm. Následně se bod po bodu shromáždí data interferenčních proužků a data se fitují a analyzují pomocí Zernikeho polynomu pro získání chyby rovinnosti. Tato metoda je použitelná pro vysoce přesné platformy a dokáže detekovat chyby rovinnosti ≤0,5 μm/m². Běžně se používá při detekci fotolitografických strojů a špičkových třísouřadnicových měřicích platforem.
II. Metoda elektronického nivelačního pole
Detekce pomocí pole elektronické vodováhy je snadno ovladatelná a vysoce efektivní. Byla vybrána elektronická vodováha TESA A2 (s rozlišením 0,01 μm/m) a uspořádána do pole 9×9 podél směru os X/Y plošiny. Synchronním sběrem dat o sklonu každé úrovně a následným výpočtem metodou nejmenších čtverců lze přesně získat hodnotu rovinnosti. Tato metoda dokáže efektivně identifikovat lokální konkávnost a konvexnost plošiny. Například lze detekovat i kolísání 0,2 μm v rozsahu 50 mm, což je vhodné pro rychlou detekci v hromadné výrobě.
Iii. Metoda optických plochých krystalů
Metoda optického plochého krystalu je vhodná pro detekci plošin s malou plochou. Optický plochý krystal pevně připevněte k testovanému povrchu na plošině a pozorujte interferenční proužky vytvořené mezi nimi pod osvětlením monochromatického světelného zdroje (například sodíkové výbojky). Pokud jsou pruhy rovnoběžné a rovné, ukazuje to na dobrou rovinnost. Pokud se objeví zakřivené pruhy, vypočítejte chybu rovinnosti na základě stupně zakřivení pruhu. Každý zakřivený pruh představuje výškový rozdíl 0,316 μm a údaje o rovinnosti lze získat jednoduchým převodem.
4. Metoda kontroly třísouřadnicového měřicího stroje
Třísouřadnicový měřicí stroj dokáže dosáhnout vysoce přesného měření v trojrozměrném prostoru. Umístěte žulovou plošinu na pracovní stůl měřicího stroje a pomocí sondy rovnoměrně sbírejte data z více měřicích bodů na povrchu plošiny. Systém měřicího stroje tato data zpracuje a analyzuje a vygeneruje zprávu o rovinnosti plošiny. Tato metoda dokáže nejen detekovat rovinnost, ale také současně získat další geometrické parametry plošiny a je vhodná pro komplexní detekci velkých žulových plošin.
Zvládnutí těchto detekčních metod vám může pomoci přesně posoudit rovinnost přesné žulové plošiny a poskytnout spolehlivou záruku stabilního provozu přesného zařízení.
Čas zveřejnění: 29. května 2025