V precizním světě výroby polovodičů je nedestruktivní testování waferů klíčovým článkem pro zajištění kvality čipů. Zdánlivě nevýznamná žulová základna je ve skutečnosti „neopěvovaným hrdinou“, který určuje přesnost detekce. Jak proboha ovlivňuje výsledky testů? Tento článek provede hloubkovou analýzu z hlediska vlastností materiálu a konstrukčního řešení.
1. Stabilní základ: Přirozené výhody žuly tvoří pevný základ pro přesnost
1. Vynikající seismické vlastnosti
Během provozu zařízení pro nedestruktivní testování destiček generuje rotace motoru a pohyb mechanických součástí vibrace. Pokud tyto vibrace nejsou účinně potlačeny, mohou vážně narušit přesnost testování. Vnitřek žuly je úzce protkán minerálními krystaly, jako je křemen a živec. Její jedinečná struktura jí dává přirozenou schopnost absorpce vibrací, která je schopna absorbovat více než 90 % vibrační energie zařízení. Skutečná data měření od jistého výrobce polovodičů ukazují, že po použití žulové základny se amplituda vibrací detekčního zařízení snížila z 12 μm na 2 μm, čímž se účinně zabrání odchylce detekčního signálu způsobené vibracemi.
2. Extrémně nízký koeficient tepelné roztažnosti
Během procesu detekce ovlivňují stabilitu základny stroje faktory, jako je zahřívání zařízení a změny teploty prostředí. Běžné materiály se při zahřívání výrazně roztahují, ale koeficient tepelné roztažnosti žuly je pouze 1/5 koeficientu tepelné roztažnosti oceli. I když teplota okolí kolísá o 10 °C, lze její deformaci ignorovat. Díky tomu může žulová základna poskytovat stabilní referenční platformu pro inspekční zařízení, což zajišťuje, že relativní poloha mezi inspekční sondou a destičkou zůstává vždy přesná a zabraňuje se chybám při kontrole způsobeným tepelnou deformací.
Za druhé, přesný návrh: Strukturální optimalizace dále zvyšuje spolehlivost detekce
Vysoce přesné zpracování a záruka rovinnosti
Vysoce kvalitní žulová základna je opracována pokročilou pětiosou CNC technologií s rovinností ±0,5 μm/m, což poskytuje ultraplochou instalační referenci pro inspekční zařízení. Při kontrole destiček je pro výsledky kontroly zásadní svislost a rovinnost inspekční sondy. Vysoce přesná žulová základna může zajistit přesné umístění sondy, čímž se zvýší přesnost a spolehlivost inspekčních dat.
2. Strukturální úprava na míru
Žulové základny strojů lze přizpůsobit různým požadavkům na nedestruktivní testování destiček a procesním požadavkům. Například pro splnění požadavků optických kontrolních zařízení na odraz světla může být povrch základny stroje speciálně upraven; pro splnění instalačních požadavků ultrazvukových testovacích zařízení může být základna prefabrikována s přesnými instalačními otvory a kabelovými žlaby, což umožňuje rychlou a přesnou instalaci zařízení a snižuje odchylky detekce způsobené chybami při instalaci.
Iii. Dlouhodobá stabilita: Snížení ztráty přesnosti způsobené údržbou zařízení
Žula má vysokou tvrdost a silnou odolnost proti opotřebení s Mohsovou tvrdostí 6 až 7, což je třikrát více než odolnost proti opotřebení než běžná ocel. Během dlouhodobých kontrolních operací není povrch základny stroje náchylný k opotřebení a vždy si udržuje dobrý stav přesnosti. Naproti tomu základny vyrobené z jiných materiálů mohou v důsledku opotřebení způsobit změny v instalační referenci zařízení, což ovlivňuje přesnost detekce a vyžaduje častou kalibraci a údržbu. Dlouhá životnost a vysoká stabilita žulové základny účinně snižují četnost údržby zařízení a snižují riziko ztráty přesnosti, ke které může dojít během procesu údržby.
Od odolnosti proti nárazům a tepelné odolnosti až po přesný design, každá vlastnost žulové základny zajišťuje přesnost nedestruktivního testování waferů. V dnešní éře výroby polovodičů, která usiluje o maximální přesnost, je výběr vysoce kvalitní žulové základny jako přidání pevné vrstvy pojištění pro přesnost a spolehlivost výsledků testů.
Čas zveřejnění: 18. června 2025