V oblasti výroby polovodičů je submikronová přesnost klíčem k zajištění výkonu čipu a žulová základna (ZHHIMG®) se svými materiálovými vlastnostmi, přesným zpracováním a inovativním designem stala základní zárukou dosažení této přesnosti.
Z hlediska materiálových vlastností má černá žula vybraná společností ZHHIMG® hustotu přibližně 3100 kg/m³ s hustou vnitřní strukturou. Tato vysoká hustota jí dodává vynikající stabilitu a tuhost. Během provozu polovodičových zařízení generuje rotace motorů a pohyb mechanických součástí uvnitř zařízení vibrace. Žulová základna dokáže účinně absorbovat více než 90 % vibrační energie, čímž výrazně snižuje dopad vibrací na přesnost zařízení. Zároveň extrémně nízký koeficient tepelné roztažnosti umožňuje udržet deformaci ve velmi malém rozsahu při kolísání okolní teploty, čímž poskytuje stabilní podpěrný základ pro polovodičová zařízení a zabraňuje posunu součástí zařízení v důsledku teplotních změn, které by mohly ovlivnit přesnost.
Pokud jde o zpracování a výrobu, továrna ZHHIMG® využívá mezinárodní pokročilé technologické vybavení a má čtyři super velké brusky (každý stroj stojí přes 500 000 USD), které dokáží provádět vysoce přesné broušení žuly. Díky pětiosému CNC obrábění a dalším procesům může rovinnost základny stroje dosáhnout nanometrové úrovně, což poskytuje ultraplochý referenční povrch pro instalaci polovodičového zařízení a zajišťuje přesné umístění každé součásti zařízení. Dílna s konstantní teplotou a vlhkostí (o rozloze 10 000 metrů čtverečních) navíc poskytuje stabilní prostředí pro zpracování. Antivibrační příkopy o šířce 500 mm a hloubce 2000 mm kolem ní, stejně jako tiché jeřáby, účinně izolují vnější vibrační rušení a zajišťují přesnost zpracování základny stroje.
Kromě toho má ZHHIMG® také silné možnosti přizpůsobení. Pro speciální požadavky polovodičových zařízení lze prefabrikovat přesné instalační otvory a kabelové žlaby, aby se dosáhlo dokonalé kompatibility mezi zařízením a základnou. Zároveň je základna stroje v kombinaci se špičkovým metrologickým a testovacím zařízením, jako je německý minutový manometr Mahr (s přesností 0,5 μm) a švýcarská elektronická vodováha WYLER, přísně kontrolována a kalibrována, aby se zajistilo, že každá základna stroje splňuje přísné požadavky polovodičových zařízení na přesnost na submikronové úrovni.
Právě kombinace těchto výhod dělá z žulové základny ZHHIMG® spolehlivou volbu pro dosažení submikronové přesnosti v polovodičových zařízeních, což pomáhá výrobě polovodičů posunout se směrem k oblastem s vyšší přesností.
Čas zveřejnění: 18. června 2025