IV polovodičovém průmyslu je přesnost zařízení pro kontrolu destiček klíčová pro zajištění kvality integrovaných obvodů. Vysoce přesné žulové základny strojů, jako jsou ty od společnosti ZHHIMG®, hrají zásadní roli při zvyšování výkonu takových zařízení. Zde je návod, jak se jim daří.
Výjimečná rozměrová stabilitaŽula se pyšní extrémně nízkým koeficientem tepelné roztažnosti, který se pohybuje kolem (4–8)×10⁻⁶/℃, což je výrazně méně než u mnoha kovů. V přísně kontrolovaném prostředí továren na polovodiče, kde i malé teplotní výkyvy mohou způsobit chyby měření, zůstávají základny strojů z žuly stabilní. Tato stabilita zajišťuje, že umístění součástek v zařízeních pro kontrolu destiček zůstává přesné, a zabraňuje tak jakýmkoli tepelně vyvolaným odchylkám, které by mohly ovlivnit přesnost výsledků kontroly.
Vynikající tlumení vibracíVýrobní podlahy jsou často vystaveny vibracím z různých zdrojů. Vlastnosti žuly, které jsou vlastní tlumicím vlastnostem s tlumicím poměrem 0,05–0,1, tyto vibrace účinně absorbují a rozptylují. Pro inspiraci destičkami
U konstrukčních řešení, která vyžadují snímky s vysokým rozlišením a přesné odečty senzorů, je neocenitelné snížení vibrací, které zajišťují žulové základny. Minimalizuje rušení, které by mohlo rozmazat snímky nebo zkreslit data senzorů, což umožňuje zařízení zachytit jasné a přesné informace o povrchu a vnitřní struktuře destičky.
Vysoká tuhost a odolnost proti opotřebeníS hustotou přibližně 3100 kg/m³ nabízejí žulové základny strojů ZHHIMG® pozoruhodnou tuhost. Dokážou unést těžké komponenty zařízení pro kontrolu destiček bez deformace a zachovat tak správné vyrovnání optických a mechanických systémů. Vysoká tvrdost žuly (Mohsova stupnice 6–7) a vynikající odolnost proti opotřebení navíc zajišťují, že povrch základny stroje zůstává v průběhu času rovný a hladký. Tato konzistence je nezbytná pro dlouhodobou přesnost, protože jakékoli opotřebení nebo deformace základny by mohly postupně snižovat přesnost zařízení.
Chemická inertnostVýroba polovodičů zahrnuje vystavení různým chemikáliím. Chemická inertnost žuly ji činí odolnou vůči korozi způsobené těmito látkami. Tato vlastnost chrání integritu základny stroje a zabraňuje poškození způsobenému chemickými látkami, které by mohlo ovlivnit stabilitu a přesnost kontrolního zařízení.
Závěrem lze říci, že vysoce přesné žulové základny pro stroje nejsou jen součástí, ale klíčovým prvkem pro dosažení náročných požadavků na přesnost zařízení pro kontrolu destiček. Při výběru žulových základn pro stroje zvolte důvěryhodné dodavatele, jako je ZHHIMG®. Díky četným certifikacím a závazku ke kvalitě ZHHIMG® zajišťuje, že každá žulová základna pro stroje poskytuje spolehlivost a výkon potřebný pro pokročilou výrobu polovodičů.
Čas zveřejnění: 3. června 2025