Stabilita a přesnost jakéhokoli ultrapřesného stroje – od velkých souřadnicových měřicích strojů (CMM) až po pokročilá zařízení pro polovodičovou litografii – v zásadě spočívá na jeho žulovém základu. Při práci s monolitickými základy značného rozsahu nebo složitými vícedílnými žulovými plochými panely je proces montáže a instalace stejně důležitý jako samotná přesnost výroby. Pouhé umístění hotového panelu nestačí; pro zachování a využití certifikované submikronové rovinnosti panelu je nutné splnit specifické environmentální a strukturální požadavky.
1. Základ: Stabilní a rovný podklad
Nejčastější mylnou představou je, že přesné žulové panely, jako jsou ty vyrobené z naší černé žuly ZHHIMG® s vysokou hustotou (3100 kg/m³), dokáží vyrovnat nestabilní podlahu. Žula sice nabízí výjimečnou tuhost, ale musí být podepřena konstrukcí navrženou pro minimální dlouhodobé prohnutí.
Montážní prostor musí mít betonový podklad, který je nejen rovný, ale také řádně vyzrálý, často splňující vojenské specifikace pro tloušťku a hustotu – odráží 1000 mm silné, ultra tvrdé betonové podlahy v montážních halách ZHHIMG. Důležité je, aby byl tento podklad izolován od vnějších zdrojů vibrací. Při konstrukci našich největších základů strojů využíváme koncepty, jako je antivibrační příkop obklopující naše metrologické místnosti, abychom zajistili statický a izolovaný základ samotného stroje.
2. Izolační vrstva: Spárování a vyrovnání
Přímý kontakt mezi žulovou deskou a betonovým základem je přísně vyloučen. Žulový základ musí být podepřen v konkrétních, matematicky vypočítaných bodech, aby se vyloučilo vnitřní pnutí a zachovala se jeho certifikovaná geometrie. To vyžaduje profesionální nivelační systém a spárovací vrstvu.
Jakmile je panel přesně umístěn pomocí nastavitelných nivelačních zvedáků nebo klínů, do dutiny mezi žulou a podkladem se napumpuje vysoce pevná, nesmršťovací a přesná spárovací hmota. Tato specializovaná spárovací hmota vytvrdne a vytvoří jednotné rozhraní s vysokou hustotou, které trvale rovnoměrně rozloží hmotnost panelu a zabrání tak prohýbání nebo deformaci, které by jinak mohly časem způsobit vnitřní napětí a ohrozit rovinnost. Tento krok účinně transformuje žulový panel a základ do jedné, soudržné a tuhé hmoty.
3. Tepelná a časová rovnováha
Stejně jako u všech vysoce přesných metrologických prací je trpělivost nanejvýš důležitá. Žulový panel, spárovací materiál a betonový podklad musí před provedením konečné kontroly zarovnání dosáhnout tepelné rovnováhy s okolním provozním prostředím. Tento proces může u velmi velkých panelů trvat i několik dní.
Kromě toho musí být nivelační seřízení – prováděné pomocí přístrojů, jako jsou laserové interferometry a elektronické vodováhy – prováděno pomalu, v nepatrných krocích, aby se materiál mohl usadit. Naši zkušení technici, kteří dodržují přísné globální metrologické normy (DIN, ASME), chápou, že uspěchané finální nivelace může způsobit skryté napětí, které se projeví později, když se přesnost ztratí.
4. Integrace komponent a zakázková montáž
U zakázkových žulových komponentů nebo žulových plochých panelů od společnosti ZHHIMG, které integrují lineární motory, vzduchová ložiska nebo kolejnice pro souřadnicové měřicí stroje (CMM), vyžaduje finální montáž absolutní čistotu. Naše specializované čisté montážní místnosti, které napodobují prostředí polovodičových zařízení, jsou nezbytné, protože i mikroskopické prachové částice zachycené mezi žulou a kovovou součástí mohou způsobit mikrodeformaci. Každé rozhraní musí být před finálním upevněním pečlivě vyčištěno a zkontrolováno, aby se zajistilo, že rozměrová stabilita součásti bude bezchybně přenesena do samotného strojního systému.
Dodržováním těchto přísných požadavků si zákazníci zajišťují, že nejen instalují komponentu, ale že úspěšně definují konečný referenční bod pro svá ultra přesná zařízení – základ zaručený odbornými znalostmi společnosti ZHHIMG v oblasti materiálové vědy a výroby.
Čas zveřejnění: 29. října 2025