V oblastech, jako je výroba polovodičů a přesné měřicí přístroje, přesnost přesných žulových plošin přímo určuje provozní kvalitu zařízení. Aby bylo zajištěno, že přesnost plošiny splňuje normy, je třeba vynaložit úsilí ze dvou hledisek: detekce klíčových ukazatelů a dodržování standardních norem.
Detekce základních indikátorů: Vícerozměrná kontrola přesnosti
Detekce rovinnosti: Určení „rovnosti“ referenční roviny
Rovinnost je základním ukazatelem přesných žulových plošin a obvykle se měří laserovými interferometry nebo elektronickými vodováhami. Laserový interferometr dokáže přesně měřit drobné nerovnosti na povrchu plošiny vyzařováním laserového paprsku a využitím principu interference světla s přesností dosahující submikronové úrovně. Elektronická vodováha měří opakovanými pohyby a kreslí trojrozměrnou konturovou mapu povrchu plošiny, aby detekovala, zda se na ní vyskytují nějaké lokální výstupky nebo prohlubně. Například žulové plošiny používané v polovodičových fotolitografických strojích musí mít rovinnost ±0,5 μm/m, což znamená, že výškový rozdíl v délce 1 metru by neměl překročit půl mikrometru. Tento přísný standard lze zajistit pouze pomocí vysoce přesného detekčního zařízení.
2. Detekce přímosti: Zajistěte „přímost“ lineárního pohybu
U plošin, které nesou přesné pohyblivé části, je přímost zásadní. Běžnými metodami detekce jsou drátová metoda nebo laserový kolimátor. Drátová metoda zahrnuje zavěšení vysoce přesných ocelových drátů a porovnání mezery mezi povrchem plošiny a ocelovými dráty za účelem určení přímosti. Laserový kolimátor využívá lineární charakteristiky šíření laseru k detekci lineární chyby instalačního povrchu vodicí lišty plošiny. Pokud přímost nesplňuje normu, způsobí to posun zařízení během pohybu, což ovlivní přesnost zpracování nebo měření.
3. Detekce drsnosti povrchu: Zajistěte „jemnost“ kontaktu
Drsnost povrchu plošiny ovlivňuje usazení instalovaných součástí. Pro detekci se obvykle používá drsnoměr s dotekem nebo optický mikroskop. Přístroj s dotekem zaznamenává změny výšky mikroskopického profilu kontaktem s povrchem plošiny jemnou sondou. Optické mikroskopy mohou přímo pozorovat texturu povrchu. U vysoce přesných aplikací je třeba drsnost povrchu žulových plošin regulovat na Ra ≤ 0,05 μm, což odpovídá zrcadlovému efektu, což zajišťuje, že přesné součásti během instalace těsně dosednou a zabraňuje vibracím nebo posunutí způsobenému mezerami.
Standardy přesnosti se řídí: mezinárodními normami a interní kontrolou podniku
V současné době se mezinárodně běžně používají normy ISO 25178 a GB/T 24632 jako základ pro stanovení přesnosti žulových plošin a existují jasné klasifikace ukazatelů, jako je rovinnost a přímost. Kromě toho špičkové výrobní podniky často stanovují přísnější standardy interní kontroly. Například požadavek na rovinnost žulové plošiny fotolitografického stroje je o 30 % vyšší než mezinárodní norma. Při provádění testů by se naměřená data měla porovnávat s odpovídajícími normami. Pouze plošiny, které plně splňují normy, mohou zajistit stabilní výkon v přesných zařízeních.
Kontrola přesnosti přesných granitových plošin je systematický projekt. Pouze přísným testováním klíčových ukazatelů, jako je rovinnost, přímost a drsnost povrchu, a dodržováním mezinárodních a podnikových standardů lze zaručit vysokou přesnost a spolehlivost plošiny a položit tak pevný základ pro špičkové výrobní obory, jako jsou polovodiče a přesné přístroje.
Čas zveřejnění: 21. května 2025