V zařízeních pro výrobu polovodičů a optoelektroniky se žula používá hlavně v klíčových součástech, jako jsou přesné pohyblivé plošiny, základny vodicích lišt, podpůrné konstrukce pro izolaci vibrací a substráty pro instalaci optických součástek. Tyto součásti kladou extrémně vysoké požadavky na přesnost, stabilitu a toleranci vůči vlivům prostředí. Vlastnosti žuly dokáží přesně splnit přísné požadavky polovodičového a optoelektronického průmyslu. Následuje analýza specifických scénářů použití a výhod:
I. Hlavní části aplikace
Přesné pohyblivé platformy (jako jsou platformy pro destičky pro fotolitografické stroje a spojovací stroje)
Používá se k přepravě přesných součástek, jako jsou destičky a optické čočky, a dosahuje tak translačního a rotačního pohybu s přesností v nanoměřítku.
Typické vybavení: stůl obrobku fotolitografického stroje, polohovací plošina měřicího zařízení.
Základna vodicí lišty a konstrukce rámu
Jako instalační základna pro lineární vedení a vzduchová flotační vedení podporuje mechanismus pohybu jádra zařízení.
Typické vybavení: mechanické rámy zařízení pro balení polovodičů a optické kontrolní přístroje.
Podpora vibrační izolace a stabilizační konstrukce
Používá se k izolaci vnějších vibrací (například vibrací z výrobní haly nebo během provozu zařízení) a zajišťuje tak stabilitu optických systémů nebo přesných strojů.
Typické scénáře: Základní podpora pro optické mikroskopy a laserové interferometry.
Montážní substrát optických součástek
Pro zajištění dlouhodobé stability přesnosti zarovnání optického systému je nutné upevnit optická zařízení, jako jsou zrcadla, hranoly a lasery.
Typická zařízení: Optoelektronická balicí zařízení, systémy pro spojování optických vláken.
Čas zveřejnění: 29. května 2025