Ve světě výroby polovodičů je pro výrobu vysoce kvalitních čipů klíčové přesné a správné zařízení. Existuje mnoho částí zařízení na výrobu polovodičů, které musí používat materiály se specifickými vlastnostmi, aby byl zajištěn spolehlivý a vysoce přesný provoz.
Jedním z materiálů, které se staly standardní součástí polovodičových zařízení, je žula. Žula, známá pro svou pevnost a stabilitu, je vynikajícím materiálem pro konstrukci a výrobu součástek používaných v polovodičových zařízeních. Zde jsou některé součásti polovodičových zařízení, které běžně používají žulový materiál:
1. Základové desky
Základní desky polovodičových zařízení musí být extrémně ploché a stabilní, aby se minimalizovaly vibrace a kolísání teploty. A žula je jedním z mála materiálů, které tyto požadavky splňují. Žula je rozměrově stabilní materiál, který odolává deformaci a tepelné roztažnosti, což zajišťuje, že si základní deska v průběhu času zachová svou rovinnost.
2. Fáze
Stoly jsou klíčovými součástmi polovodičových zařízení, které vykonávají přesné pohyby pro výrobní procesy, jako je polohování destiček, leptání a nanášení. Žulové stoly se v polovodičových zařízeních široce používají díky své vysoké tuhosti, nízké tepelné roztažnosti a vynikajícím tlumicím vlastnostem. U žulových stolů jsou pohyby přesnější a zařízení má nižší riziko selhání.
3. Lineární vedení
Lineární vedení jsou mechanická zařízení, která zajišťují lineární pohyb po dvou rovnoběžných kolejnicích. Musí být extrémně stabilní a přesná a žula je pro tento účel ideálním materiálem. Vysoká tuhost a tlumicí vlastnosti žuly z ní činí oblíbenou volbu pro lineární vedení používaná v polovodičových zařízeních, což zajišťuje stabilitu a přesnost ve výrobním procesu.
4. Sklíčidla
Upínače se používají k uchycení a polohování destiček během různých výrobních procesů. Žulové upínače jsou oblíbené díky své plochosti a tepelné stabilitě. Díky nízké tepelné roztažnosti žuly se upínače vyrobené z tohoto materiálu nedeformují ani nemění rozměry při vystavení změnám teploty.
5. Inspekční desky
Inspekční desky se používají ke kontrole kvality produktů vyráběných v polovodičových zařízeních. Tyto desky musí být extrémně ploché a stabilní a schopné přesně odrážet světlo. Vysoká odrazivost, rovinnost povrchu a rozměrová stálost žuly z ní činí oblíbenou volbu pro inspekční desky v polovodičových zařízeních.
Závěrem lze říci, že žulové prvky se široce používají pro přesné součásti v polovodičových zařízeních a jejich využití se díky jejich vynikajícím vlastnostem bude dále rozšiřovat. Díky své vysoké tuhosti, nízké tepelné roztažnosti a vynikajícím tlumícím vlastnostem poskytují žulové prvky požadovanou stabilitu, přesnost a opakovatelnost pro provádění nanoměřítkových operací v polovodičových zařízeních. Společnosti, které vyrábějí vysoce kvalitní polovodičová zařízení, investují do nejlepších materiálů, aby svým produktům poskytly co největší šanci na úspěch, a žula je i nadále oblíbeným materiálem díky svým vynikajícím vlastnostem a spolehlivosti.
Čas zveřejnění: 19. března 2024