Žulové materiály jsou široce používány v polovodičovém průmyslu díky svým vynikajícím vlastnostem, jako je vysoká stabilita, nízká tepelná roztažnost a vysoká odolnost proti korozi.Tyto vlastnosti dělají ze žuly ideální materiál pro stavbu vysoce přesných součástí v systému přenosu plátků.
V procesu výroby polovodičů hraje systém přenosu destiček klíčovou roli při přepravě destiček v různých fázích výrobního procesu.Přesnost a přesnost jsou základními požadavky na tyto systémy, protože i nepatrné odchylky by mohly ohrozit celý proces.Komponenty v přenosovém systému plátků proto musí být vyrobeny z vysoce kvalitních materiálů a žula tato kritéria splňuje.
Některé části systému přenosu plátků, které jsou vyrobeny z žulových materiálů, zahrnují:
1. Vakuový upínací stůl
Vakuový upínací stůl se používá k přidržování plátku během procesu a musí mít stabilní povrch, aby se plátek nepoškodil.Žula je ideálním materiálem pro výrobu tohoto stolu, protože má plochý, neporézní povrch, který poskytuje vysokou stabilitu a přesnost.Navíc má žula nízký koeficient tepelné roztažnosti, díky čemuž je odolná vůči teplotním změnám, které by mohly způsobit rozměrové změny v plátku.
2. Stupeň vzduchového ložiska
Stupeň se vzduchovým ložiskem se používá k přepravě plátku v různých fázích výrobního procesu.Jeviště je navrženo tak, aby poskytovalo pohyb bez tření, což vyžaduje vysokou přesnost a stabilitu.V této aplikaci se používá žula, protože je to tuhý a tvrdý kámen a odolává deformaci a opotřebení v průběhu času.
3. Lineární vodítka
Lineární vodítka pohybu se používají k vedení vzduchového ložiska a musí být přesně umístěna, aby se minimalizovaly chyby.Na stavbu tohoto vodítka je použita žula, protože má vynikající mechanickou stabilitu a pevnost.Materiál je také odolný proti korozi, což zajišťuje dlouhou životnost vodícího systému.
4. Metrologická zařízení
Metrologické zařízení se používá k měření rozměrů a vlastností waferu během výrobního procesu.Žula je ideální materiál pro stavbu tohoto zařízení, protože má vysokou tuhost, nízkou roztažnost a minimální deformaci při zatížení.Tepelná stabilita žuly navíc zajišťuje, že metrologické zařízení zůstane v průběhu času stabilní a přesné.
Závěrem lze říci, že polovodičový průmysl spoléhá na přesnost a přesnost a žulové materiály se ukázaly jako vysoce spolehlivé a stabilní ve výrobním procesu.S mnoha kritickými součástmi v systému přenosu plátků, které vyžadují vysokou stabilitu, přesnost a nízkou tepelnou roztažnost, se inženýři obrátili na žulové materiály, aby splnili tyto kritické požadavky.
Čas odeslání: 19. března 2024