Žulové materiály jsou široce používány v polovodičovém průmyslu díky svým vynikajícím vlastnostem, jako je vysoká stabilita, nízká tepelná roztažnost a vysoká odolnost proti korozi. Díky těmto vlastnostem je žula ideálním materiálem pro výrobu vysoce přesných součástek v systémech pro přenos destiček.
V procesu výroby polovodičů hraje systém pro přenos destiček klíčovou roli v přepravě destiček napříč různými fázemi výrobního procesu. Přesnost a správnost jsou základními požadavky na tyto systémy, protože i malé odchylky by mohly ohrozit celý proces. Součásti systému pro přenos destiček proto musí být vyrobeny z vysoce kvalitních materiálů a žula tato kritéria splňuje.
Mezi některé části systému pro přenos destiček, které jsou vyrobeny z žulových materiálů, patří:
1. Stůl s vakuovým upínačem
Vakuový upínací stůl se používá k uchycení destičky během procesu a musí mít stabilní povrch, aby se destička nepoškodila. Žula je ideálním materiálem pro výrobu tohoto stolu, protože má plochý, neporézní povrch, který zajišťuje vysokou stabilitu a přesnost. Žula má navíc nízký koeficient tepelné roztažnosti, díky čemuž je odolná vůči teplotním změnám, které by mohly způsobit rozměrové změny destičky.
2. Fáze s vzduchovým ložiskem
Vzduchový nosič se používá k přepravě destičky různými fázemi výrobního procesu. Je navržen tak, aby poskytoval pohyb bez tření, což vyžaduje vysokou přesnost a stabilitu. Žula se v této aplikaci používá, protože je to pevný a tvrdý kámen, který odolává deformaci a opotřebení v průběhu času.
3. Lineární vodítka pohybu
Lineární vodítka se používají k vedení vzduchového stolu a musí být přesně umístěna, aby se minimalizovaly chyby. Pro výrobu tohoto vodítka se používá žula, protože má vynikající mechanickou stabilitu a pevnost. Materiál je také odolný proti korozi, což zajišťuje dlouhou životnost vodicího systému.
4. Metrologické vybavení
Metrologické zařízení se používá k měření rozměrů a vlastností destiček během výrobního procesu. Žula je ideálním materiálem pro výrobu těchto zařízení, protože má vysokou tuhost, nízkou roztažnost a minimální deformaci při zatížení. Tepelná stabilita žuly navíc zajišťuje, že metrologické zařízení zůstane stabilní a přesné v průběhu času.
Závěrem lze říci, že polovodičový průmysl se spoléhá na přesnost a správnost a žulové materiály se v procesu výroby ukázaly jako vysoce spolehlivé a stabilní. Vzhledem k tomu, že mnoho kritických součástí systému přenosu destiček vyžaduje vysokou stabilitu, přesnost a nízkou tepelnou roztažnost, obrátili se inženýři na žulové materiály, aby tyto kritické požadavky splnili.
Čas zveřejnění: 19. března 2024