Žulové materiály se v polovodičovém průmyslu široce používají kvůli jejich vynikajícím vlastnostem, jako je vysoká stabilita, nízká tepelná roztažení a vysoká odolnost vůči korozi. Díky těmto vlastnostem je žula ideálním materiálem pro budování vysoce přesných součástí v systému přenosu oplatky.
V procesu výroby polovodičů hraje systém přenosu oplatky rozhodující roli při přepravě destiček v různých fázích výrobního procesu. Přesnost a přesnost jsou základními požadavky na tyto systémy, protože i nepatrné odchylky by mohly celý proces ohrozit. Proto musí být komponenty v systému přenosu oplatky vyrobeny z vysoce kvalitních materiálů a žula tato kritéria splňuje.
Některé části systému přenosu oplatky, které jsou vyrobeny z žulových materiálů, zahrnují:
1. Tabulka vakuového sklíčidla
Vakuový sklíčivý stůl se používá pro držení oplatky během procesu a musí mít stabilní povrch, aby se zajistilo poškození oplatky. Žula je ideálním materiálem pro výrobu tohoto stolu, protože má plochý, neporézní povrch, který poskytuje vysokou stabilitu a přesnost. Kromě toho má žula nízký koeficient tepelné roztažnosti, takže je odolný vůči změnám teploty, které by mohly způsobit rozměrové změny v oplatce.
2. fáze a vzduchové lodi
Stadium nosnosti vzduchu se používá k přepravě oplatky různými fázemi výrobního procesu. Pódium je navrženo tak, aby poskytovalo pohyb bez tření, což vyžaduje vysokou přesnost a stabilitu. V této aplikaci se používá žula, protože se jedná o tuhý a tvrdý kámen a v průběhu času odolává deformaci a opotřebení.
3. Průvodce lineárním pohybem
Lineární pohybové průvodce se používají k vedení fáze nosnosti vzduchu a musí být přesně umístěny, aby se minimalizovaly chyby. Žula se používá k vytvoření této příručky, protože má vynikající mechanickou stabilitu a sílu. Materiál je také odolný vůči korozi, což zajišťuje dlouhověkost vodicího systému.
4. Metrologické vybavení
Metrologická zařízení se používá k měření rozměrů a vlastností oplatky během výrobního procesu. Žula je ideálním materiálem pro stavbu tohoto zařízení, protože má vysokou tuhost, nízkou expanzi a minimální deformaci při zatížení. Tepelná stabilita Granite navíc zajišťuje, že metrologické zařízení zůstává v průběhu času stabilní a přesné.
Závěrem lze říci, že polovodičový průmysl spoléhá na přesnost a přesnost a žulové materiály se ukázaly jako vysoce spolehlivé a stabilní ve výrobním procesu. S mnoha kritickými komponenty v systému přenosu oplatky vyžadující vysokou stabilitu, přesnost a nízkou tepelnou rozlap se inženýři obrátili na žulové materiály, aby tyto kritické požadavky splnili.
Čas příspěvku: Mar-19-2024