Kombinace lineárního motoru a žulové základny se díky svému vynikajícímu výkonu široce používá v mnoha oblastech vyžadujících vysokou přesnost a stabilitu. Rozvedu pro vás její aplikační scénáře z hlediska špičkové výroby, vědeckého výzkumu a testování a lékařských zařízení.
1. Výroba polovodičů: V litografickém procesu výroby polovodičových čipů pohání lineární motor expoziční hlavu litografického zařízení a zajišťuje vysokorychlostní a vysoce přesný skenovací pohyb. Žulová základna s vynikající stabilitou, účinně izolující od vnějšího vibračního rušení, zajišťuje přesné polohování expoziční hlavy, zajišťuje přesnost litografického vzoru a splňuje přísné požadavky na nanoměřítko při výrobě čipů, což výrazně zlepšuje výtěžnost výroby čipů. V části pro balení čipů pohání lineární motor mechanické rameno balicího zařízení pro provádění přesných operací a žulová základna poskytuje stabilní oporu pro mechanické rameno, takže mechanické rameno může přesně spojit čip s pinem, čímž se zlepšuje kvalita a účinnost balení.
2. Výroba elektronických zařízení: Při osazování obrazovky smartphonu tlačí lineární motor vtlačovací tělísko osazovacího zařízení s přesnou silou a rychlostí. Vysoce přesná rovina žulové základny zajišťuje, že vtlačovací tělísko je vždy v rovině, takže obrazovka dosedá rovnoměrně, čímž se zabrání bublinám, nesouososti a dalším problémům a zlepší se kvalita výrobku. Při vysoce přesném vrtání a frézování desky plošných spojů pohání lineární motor obráběcí nástroj k rychlému pohybu, stabilita a odolnost žulové základny proti opotřebení zajišťují přesné polohování nástroje během obrábění, snižují opotřebení nástroje a zlepšují přesnost obrábění a efektivitu výroby desky plošných spojů.
3. Přesné měření: V souřadnicovém měřicím stroji (CMM) pohání lineární motor měřicí sondu, která se rychle a přesně pohybuje v trojrozměrném prostoru. Ultra vysoká rovinnost a přímost žulové základny poskytuje stabilní referenční bod pro měřicí sondu, aby byla zajištěna přesnost naměřených dat, a lze ji použít pro rozměrovou detekci přesných dílů, měření tolerancí tvaru a polohy atd., což se široce používá v automobilovém průmyslu, leteckém průmyslu a dalších odvětvích. V laserovém interferometru lineární motor řídí pohyb zrcadla a žulová základna dokáže účinně odolávat vlivům vibrací prostředí a změnám teploty, čímž zajišťuje stabilitu optické dráhy interference a umožňuje vysoce přesné měření malých posunů, úhlů a dalších parametrů, které se běžně používají při výrobě optických součástek, přesné mechanické montáži a dalších oblastech detekce a kalibrace.
4. Lékařské vybavení: Ve špičkových lékařských zobrazovacích zařízeních, jako jsou přístroje pro magnetickou rezonanci (MRI), se k pohonu rychlého a plynulého pohybu vyšetřovacího lůžka používají lineární motory. Dobrá odolnost proti nárazům a tepelná stabilita žulové základny zajišťují, že magnetické pole MRI nebude během pohybu vyšetřovacího lůžka rušeno, čímž se zajistí, že kvalita obrazu nebude ovlivněna, a lékaři získají jasné a přesné diagnostické snímky. V zařízeních pro radioterapii lineární motor pohání přesné polohování zdroje záření pro přesné ozáření nádoru. Vysoká přesnost a stabilita žulové základny zajišťuje přesnost polohování radioaktivního zdroje, zlepšuje účinek radioterapie a snižuje poškození okolní normální tkáně.
5. Zpracování leteckých dílů: Při přesném obrábění lopatek leteckých motorů pohánějí lineární motory obráběcí nástroje pro frézování složitých povrchů lopatek. Vysoká tuhost a stabilita žulové základny odolá vysoké řezné síle při obrábění, zajišťuje přesnost pohybu nástroje, zajišťuje přesnost obrábění a kvalitu povrchu lopatky a splňuje požadavky leteckého motoru na vysoký výkon dílů. Při výrobě dílů satelitů se lineární motor s žulovou základnou používá pro přesné vrtání, broušení a další obráběcí procesy, aby se zajistilo, že rozměrová přesnost a tolerance tvaru a polohy dílů satelitů splňují standardy pro vesmírné účely, a aby se zajistil spolehlivý provoz satelitů v kosmickém prostředí.
Čas zveřejnění: 27. března 2025