V oblasti přesné výroby a vědeckého výzkumu den ode dne roste poptávka po ultrapřesném řízení pohybu. Jako klíčové zařízení pro dosažení vysoce přesného lineárního pohybu má ultrapřesný jednoosý plovoucí modul s plovoucími vzduchovými systémy přímý vliv na kvalitu konečného produktu a přesnost výsledků vědeckého výzkumu. Mezi mnoha ovlivňujícími faktory mu dává bezkonkurenční výhodu použití žulové základny, která se stává klíčovým prvkem pro zajištění vynikající přesnosti.
Žula má po milionech let geologických změn extrémně hustou a jednotnou vnitřní strukturu. Skládá se převážně z křemene, živce a dalších minerálů, což dává žule vynikající fyzikální vlastnosti. Při použití jako základny pro jednoosý vzduchový plovákový ultrapřesný pohybový modul vykazuje žula především extrémně vysokou stabilitu. Ve srovnání s běžnými kovovými základnami vykazují žulové základny silnější odolnost vůči deformacím tváří v tvář vnějším vlivům prostředí, jako jsou teplotní výkyvy a mechanické vibrace. V procesu výroby elektronických čipů je nutné dosáhnout přesnosti polohování čipové litografie na nanometrové úrovni. Ve výrobní hale mohou vibrace generované provozem velkých zařízení a malé změny okolní teploty ovlivnit přesnost pohybu litografického zařízení. Jednoosý vzduchový plovákový ultrapřesný pohybový modul s žulovou základnou dokáže účinně tlumit vnější vibrace a snížit amplitudu vibrací přenášených na pohybový modul o více než 80 %. Zároveň extrémně nízký koeficient tepelné roztažnosti způsobuje, že se velikost základny při změně teploty mění jen velmi málo, což zajišťuje, že modul s plovoucím pohybem vzduchu si stále udržuje stabilní přesnost pohybu ve složitém prostředí, poskytuje přesný základ pro polohování čipové litografie a výrazně zlepšuje výtěžnost výroby čipů.
Žula má navíc dobrou odolnost proti opotřebení. Při častém vratném pohybu ultrapřesného jednoosého vzduchového plovákového modulu, ačkoli je mezi jezdcem vzduchového plováku a základnou nosná plynová vrstva, dlouhodobé používání nevyhnutelně vede k určitému stupni tření. Žulová základna s vysokou tvrdostí dokáže účinně odolávat opotřebení způsobenému tímto třením a prodlužuje životnost pohybového modulu. Ve vědeckovýzkumných laboratořích univerzit potřebují experimentální zařízení používaná pro detekci mikročástic, aby ultrapřesný pohybový modul jednoosé vzduchové flotace běžel stabilně po dlouhou dobu, aby se získalo velké množství přesných experimentálních dat. Vysoká odolnost žulové základny proti opotřebení zajišťuje, že přesnost pohybového modulu může být i po dlouhé době používání udržována na počáteční vysoké úrovni přesnosti, což poskytuje spolehlivou záruku kontinuity a přesnosti vědeckého výzkumu a pomáhá výzkumníkům hlouběji prozkoumávat tajemství mikroskopického světa.
Jednoosý ultrapřesný pohybový modul s plovoucím vzduchem a žulovou základnou je jako přesný „navigátor“ pro přesnou výrobu a vědecký výzkum. Žulová základna s vynikající stabilitou a odolností proti opotřebení poskytuje pevnou oporu pro vysoce přesný pohyb plovoucího vzduchového modulu. Při výrobě polovodičů, výrobě optických přístrojů, špičkovém vědeckém výzkumu a mnoha dalších požadavcích na přesnost v tomto oboru hraje nezastupitelnou důležitou roli a podporuje směřování průmyslu k vyšší přesnosti a vyšší kvalitě.
Čas zveřejnění: 7. dubna 2025