V polovodičovém průmyslu je kontrola destiček klíčovým článkem pro zajištění kvality a výkonu čipu a přesnost a stabilita inspekčního stolu hrají rozhodující roli ve výsledcích detekce. Žulová základna se svými jedinečnými vlastnostmi se stává ideální volbou pro inspekční stůl polovodičových destiček, který je výsledkem vícerozměrné analýzy.
Zaprvé, rozměr záruky přesnosti
1. Ultra vysoká rovinnost a přímost: Žulová základna je zpracována pokročilou technologií zpracování a rovinnost může dosáhnout přesnosti ±0,001 mm/m nebo i vyšší, přičemž přímost je také vynikající. V procesu kontroly destiček poskytuje vysoce přesná rovina stabilní oporu pro destičku a zajišťuje přesný kontakt mezi sondou kontrolního zařízení a pájenými spoji na povrchu destičky.
2. Velmi nízký koeficient tepelné roztažnosti: výroba polovodičů je citlivá na změny teploty a koeficient tepelné roztažnosti žuly je extrémně nízký, obvykle kolem 5×10⁻⁶/℃. Když je detekční platforma v provozu, i když okolní teplota kolísá, velikost žulové základny se mění jen velmi málo. Například v letních měsících ve vysokoteplotní dílně může teplota běžné kovové detekční platformy způsobit posun relativní polohy destičky a detekčního zařízení, což ovlivňuje přesnost detekce. Detekční platforma s žulovou základnou si udržuje stabilitu, zajišťuje přesnost relativní polohy destičky a detekčního zařízení během procesu detekce a poskytuje stabilní prostředí pro vysoce přesnou detekci.
Za druhé, rozměr stability
1. Stabilní struktura a odolnost proti vibracím: Žula má po milionech let geologických procesů hustou a jednotnou vnitřní strukturu. V komplexním prostředí továrny na polovodiče jsou vibrace generované provozem periferních zařízení a pohybem personálu účinně tlumeny žulovým podkladem.
2. Přesnost při dlouhodobém používání: ve srovnání s jinými materiály má žula vysokou tvrdost, silnou odolnost proti opotřebení a tvrdost podle Mohse může dosáhnout 6-7. Povrch žulové základny se při častém nakládání, vykládání a kontrole destiček snadno neopotřebovává. Podle skutečných statistických údajů lze při použití zkušebního stolu žulové základny po 5000 hodinách nepřetržitého provozu udržet přesnost rovinnosti a přímosti na více než 98 % původní přesnosti, což snižuje opotřebení zařízení v důsledku pravidelné kalibrace a údržby, snižuje provozní náklady firmy a zajišťuje dlouhodobou stabilitu zkušebních prací.
Třetí, čistý a nerušivý rozměr
1. Nízká tvorba prachu: prostředí pro výrobu polovodičů musí být vysoce čisté a samotný žulový materiál musí být stabilní a neprodukuje prachové částice. Během provozu testovací platformy se zabraňuje znečištění destičky prachem generovaným základnou a snižuje se riziko zkratu a přerušení obvodu způsobeného prachovými částicemi. V oblasti kontroly destiček v bezprašné dílně je koncentrace prachu kolem inspekčního stolu s žulovou základnou vždy udržována na extrémně nízké úrovni, což splňuje přísné požadavky na čistotu v polovodičovém průmyslu.
2. Žádné magnetické rušení: detekční zařízení je citlivé na elektromagnetické prostředí a žula je nemagnetický materiál, který neruší elektronický signál detekčního zařízení. Při použití detekce elektronovým paprskem a dalších testovacích technologií, které vyžadují extrémně vysoké elektromagnetické prostředí, žulová základna zajišťuje stabilní přenos elektronického signálu detekčního zařízení a zajišťuje přesnost výsledků testů. Například při testování vysoce přesného elektrického výkonu destičky se nemagnetická žulová základna vyhýbá rušení signálů detekčního proudu a napětí, takže detekční data věrně odrážejí elektrické vlastnosti destičky.
Čas zveřejnění: 31. března 2025