Granite je typ tvrdé skály, která se stala nepostradatelným materiálem v polovodičovém průmyslu. Jeho vlastnosti mu umožňují odolat vysokých teplotách, díky čemuž je ideální pro použití v různých fázích výrobních procesů polovodičových zařízení. Výsledkem je, že sestava Granite našla rozsáhlé oblasti aplikací ve výrobcích zařízení pro výrobu polovodičů.
Jednou z nejužitečnějších aplikací žulové sestavy je konstrukce vysoce přesných struktur strojových strojů. Tuhost a stabilita žuly umožňuje vytvářet přesné a přesné nástroje s malou nebo žádnou deformací. Tato úroveň přesnosti je nezbytná u polovodičových výrobních procesů, jako je implantace iontů, kde paprsek musí být přesně nasměrován na oplatku.
Další aplikací žulové sestavy ve výrobě polovodičů je ve výstavbě metrologického vybavení. Metrologické vybavení je nezbytné v procesech výroby polovodičů, protože měří a ověřuje přesnost vyráběných zařízení. Rozměrová stabilita Granite, nízká tepelná roztažení a vynikající vlastnosti tlumení vibrací z něj činí materiál výběru při konstrukci metrologického vybavení. To zahrnuje velké žulové povrchy používané při stagingu a kontrole oplatků.
Optické tabulky jsou další oblastí rozsáhlé aplikace žulové sestavy v polovodičovém průmyslu. Optické tabulky se používají při testování optických zařízení, jako jsou vlnovod pro datovou komunikaci. Graniteova rovinnost, nízká tepelná roztažnost, vysoká rigidita a mechanická stabilita umožňují mu poskytnout vysoce stabilní povrch pro montáž a umístění optiky. Žulové optické tabulky mohou poskytnout stabilitu a tuhost potřebnou k provedení přesného a přesného testování optických zařízení.
Granite také najde aplikaci při konstrukci upínačů a fází. Během procesu výroby polovodiče je zásadní přesné zarovnání a kontrola polohy. Chucks, které během zpracování drží oplatky na místě, musí udržovat přesnost polohy a zároveň odolat vysokých teplotách a vakuových podmínkách. Granite má vynikající rozměrovou stabilitu v širokém rozsahu teplot a vydrží vakuové podmínky, což je ideální pro konstrukci upínače oplatky. Fáze použité při pohybu oplatků z jedné polohy do druhé procházejí cyklistickou sekvencí pohybů během procesu výroby polovodičů. Sestava žuly poskytuje stabilitu a trvanlivost potřebnou k nesení kontinuálních a opakujících se cyklů pohybu.
Stručně řečeno, použití sestavy žuly v polovodičovém průmyslu je obrovská. Díky jeho vlastnostem, jako je rozměrová stabilita, nízká tepelná roztažení, vysoká rigidita a tlumení vibrací, z něj činí ideální materiál pro použití v různých stádiích výrobních procesů polovodičových zařízení. Od konstrukce vysoce přesných strojních strojů a metrologických zařízení po optické stoly a fáze oplatky a upínače hrají atributy Granite klíčovou roli při poskytování stability, přesnosti a opakovatelnosti nezbytné k dosažení vysoce kvalitní výroby polovodičových zařízení.
Čas příspěvku: prosinec-06-2023