Žula je druh tvrdé horniny, která se stala nepostradatelným materiálem v průmyslu výroby polovodičů. Její vlastnosti jí umožňují odolávat vysokým teplotám, což ji činí ideální pro použití v různých fázích výrobních procesů polovodičových součástek. Díky tomu našla žulová montáž rozsáhlé uplatnění v oblasti výroby polovodičových součástek.
Jednou z nejvyužívanějších aplikací montáže žuly je konstrukce vysoce přesných struktur obráběcích strojů. Tuhost a stabilita žuly umožňuje vyrábět přesné a precizní nástroje s malou nebo žádnou deformací. Tato úroveň přesnosti je nezbytná v procesech výroby polovodičů, jako je iontová implantace, kde musí být paprsek přesně nasměrován na destičku.
Dalším využitím žuly při výrobě polovodičů je konstrukce metrologických zařízení. Metrologické vybavení je v procesech výroby polovodičů zásadní, protože měří a ověřuje přesnost vyráběných součástek. Rozměrová stabilita žuly, nízká tepelná roztažnost a vynikající tlumení vibrací z ní činí preferovaný materiál při konstrukci metrologických zařízení. Patří sem i velké žulové povrchy používané při přípravě a kontrole destiček.
Optické stoly jsou další oblastí rozsáhlého uplatnění žulových konstrukcí v polovodičovém průmyslu. Optické stoly se používají při testování optických zařízení, jako jsou vlnovody pro datovou komunikaci. Rovinnost, nízká tepelná roztažnost, vysoká tuhost a mechanická stabilita žuly jí umožňují poskytovat vysoce stabilní povrch pro montáž a umístění optiky. Žulové optické stoly mohou poskytnout stabilitu a tuhost potřebnou k provádění přesného a precizního testování optických zařízení.
Žula nachází uplatnění také při konstrukci upínačů a stolů pro destičky. Během procesu výroby polovodičů je klíčové přesné zarovnání a řízení polohy. Upínače pro destičky, které drží destičky na místě během zpracování, musí udržovat přesnost polohy a zároveň odolávat vysokým teplotám a vakuovým podmínkám. Žula má vynikající rozměrovou stabilitu v širokém rozsahu teplot a odolá vakuovým podmínkám, což ji činí ideální pro konstrukci upínačů pro destičky. Stoly používané při pohybu destiček z jedné pozice do druhé procházejí během procesu výroby polovodičů cyklickou sekvencí pohybů. Žulová sestava poskytuje stabilitu a trvanlivost potřebnou k vydržení nepřetržitých a opakujících se cyklů pohybu.
Stručně řečeno, použití žuly v polovodičovém průmyslu je rozsáhlé. Její vlastnosti, jako je rozměrová stabilita, nízká tepelná roztažnost, vysoká tuhost a tlumení vibrací, z ní činí ideální materiál pro použití v různých fázích procesů výroby polovodičových součástek. Od konstrukce vysoce přesných obráběcích strojů a metrologických zařízení až po optické stoly, wafery a upínače, hrají vlastnosti žuly klíčovou roli v zajištění stability, přesnosti a opakovatelnosti nezbytných pro dosažení vysoce kvalitní výroby polovodičových součástek.
Čas zveřejnění: 6. prosince 2023