Výroba polovodičů: V procesu výroby čipů musí fotolitografický proces přesně přenést vzor obvodu na destičku. Žulová základna jednoosého vzduchového plovoucího ultrapřesného pohybového modulu může zajistit vysoce přesné polohování a stabilní oporu pro stůl destiček v litografickém zařízení. Například ASML a další mezinárodně uznávaní výrobci litografických strojů používají ve svých špičkových zařízeních vzduchové plovoucí pohybové moduly s žulovou základnou, které dokáží řídit přesnost polohování destičky na nanometrové úrovni, aby byla zajištěna přesnost litografického vzoru, a tím se zlepšila integrace a výkon čipu.
Oblast přesného měření: SMS je přesné měřicí zařízení běžně používané v průmyslové výrobě, které se používá k měření velikosti, tvaru a přesnosti polohy obrobku. Ultrapřesný pohybový modul jednoosého vzduchového plováku na žulové základně lze použít jako pohybovou platformu SMS, která dokáže realizovat vysoce přesný lineární pohyb a zajistit stabilní trajektorii pohybu měřicí sondy. Například špičkový SMS od společnosti Hexagon využívá tuto kombinaci k měření velkých a složitých dílů s přesností měření až na úroveň mikronů, což poskytuje silnou záruku kontroly kvality dílů v automobilovém, leteckém a dalších průmyslových odvětvích.
Letecký a kosmický průmysl: Při zpracování a testování leteckých dílů je vyžadována vysoká přesnost. Například obrábění lopatek leteckých motorů vyžaduje přesné řízení trajektorie pohybu nástroje, aby byla zajištěna přesnost profilu lopatky. Žulová základna jednoosého modulu s ultrapřesným pohybem s plovoucím vzduchem může být použita na pětiosém obráběcím centru a dalších zařízeních, aby se zajistilo vysoce přesné řízení pohybu nástroje a aby se zajistilo, že přesnost obrábění lopatky splňuje konstrukční požadavky. Současně je v procesu montáže leteckého motoru nutné použít také vysoce přesné měřicí zařízení pro zjištění přesnosti montáže dílů. Modul s plovoucím vzduchem žulové základny může poskytnout stabilní oporu a přesný pohyb měřicího zařízení, aby byla zajištěna kvalita montáže.
Oblast optické kontroly: Při výrobě a testování optických součástek je nutné provádět vysoce přesné polohování a měření optických součástek. Například při výrobě vysoce přesných optických součástek, jako jsou zrcadla a čočky, je nutné použít interferometry a další zařízení pro detekci přesnosti tvaru povrchu. Žulová základna jednoosého vzduchového plovoucího ultrapřesného pohybového modulu může být použita jako pohybová platforma interferometru, která dokáže dosáhnout submikronové přesnosti polohování a poskytnout přesnou datovou podporu pro detekci optických součástek. Kromě toho je v laserovém obráběcím zařízení nutné použít vysoce přesnou pohybovou platformu pro řízení trajektorie skenování laserového paprsku. Žulová základna vzduchového plovoucího pohybového modulu může tento požadavek splňovat pro dosažení vysoce přesného laserového obrábění.
Čas zveřejnění: 7. dubna 2025