V oblasti špičkové výroby a špičkového vědeckého výzkumu je přesná staticky tlaková pneumatická plovoucí plošina klíčovým zařízením pro dosažení ultrapřesného provozu. Přesná žulová základna je hlavní nosnou částí plošiny a její výkon úzce souvisí s pracovním prostředím. Pochopení a splnění těchto environmentálních požadavků může nejen zajistit vysoce přesný provoz plošiny, ale je také důležitou součástí zvýšení konkurenceschopnosti podniku v souvisejících oblastech, což je podrobněji popsáno níže.
1. Teplota: přesná regulace pro zajištění rozměrové stability
Přestože je žula známá svou stabilitou, její koeficient tepelné roztažnosti není nulový a malé změny teploty mohou stále ovlivnit její rozměrovou přesnost. Obecně řečeno, koeficient tepelné roztažnosti žuly je 5-7 × 10⁻⁶/℃. V případě použití přesné staticky tlakové vzduchové pohyblivé plošiny je tato mírná změna zesílena plošinou, což může vést k odchylce v přesnosti pohybu. Například při výrobě polovodičových čipů, litografickém procesu, pro požadavky na přesnost polohování na úrovni Danami, může kolísání okolní teploty 1 °C na délce strany 1 metru žulové základny způsobit lineární roztažnost nebo smrštění 5-7 mikronů, což stačí k odchylce litografického vzoru čipu a snížení výtěžnosti. Proto by ideální pracovní teplota přesné staticky tlakové vzduchové pohyblivé plošiny vybavené přesnou žulovou základnou měla být přísně kontrolována na 20 °C ± 1 °C. Podniky mohou instalovat vysoce přesný systém klimatizace s konstantní teplotou, průběžně monitorovat a přesně upravovat okolní teplotu, udržovat stabilitu velikosti žulové základny a zajistit tak vysoce přesný provoz plošiny.
2. vlhkost: rozumná kontrola, ochrana základního výkonu
Vlhkost má také významný vliv na přesné žulové základny. V prostředí s vysokou vlhkostí žula snadno absorbuje vodní páru a na jejím povrchu může docházet ke kondenzaci, což nejen narušuje normální provoz systému vzduchové flotace, ale také vede k dlouhodobé erozi žulového povrchu, čímž se snižuje jeho přesnost a životnost. Vezměme si jako příklad dílnu na broušení optických čoček: pokud je vlhkost dlouhodobě vyšší než 60 % relativní vlhkosti, vodní pára adsorbovaná na povrchu žulové základny naruší rovnoměrnost filmu vzduchové flotace, což má za následek snížení přesnosti broušení čoček a povrchové vady. Proto je nutné regulovat relativní vlhkost pracovního prostředí v rozmezí 40 % až 60 % relativní vlhkosti. Podniky mohou k monitorování a regulaci vlhkosti v reálném čase používat odvlhčovače, senzory vlhkosti a další zařízení, která vytvářejí vhodné vlhkostní prostředí pro přesnou žulovou základnu a zajišťují stabilní provoz přesné staticky tlakové vzduchové plovoucí plošiny.
3. čistota: přísná kontrola, eliminace rušení částic
Prachové částice jsou „nepřítelem“ přesné platformy s plovoucím pohybem o statickém tlaku vzduchu a značně poškozují přesnou žulovou základnu. Jakmile se drobné částice dostanou do mezery plynového filmu mezi posuvníkem plynového plováku a žulovou základnou, mohou narušit rovnoměrnost plynového filmu, zvýšit tření a dokonce poškrábat povrch základny, což vážně ovlivňuje přesnost pohybu plošiny. V ultra přesné obráběcí dílně leteckých a kosmických dílů, pokud prachové částice ze vzduchu dopadnou na žulovou základnu, může se trajektorie pohybu obráběcího nástroje odchýlit, což ovlivňuje přesnost obrábění dílů. Proto by pracovní prostor měl být udržován ve vysoké čistotě a měl by dosahovat standardu čistoty 10 000 nebo i vyššího. Podniky mohou filtrovat prachové částice ve vzduchu instalací vysoce účinných vzduchových filtrů (HEPA) a vyžadovat, aby zaměstnanci nosili bezprašné oblečení, návleky na boty atd., aby se snížilo množství prachu vnášeného lidmi a udržovalo se vysoce přesné provozní prostředí žulové základny a přesné platformy s plovoucím pohybem o statickém tlaku vzduchu.
4. Vibrace: Efektivní izolace pro vytvoření hladkého prostoru
Vnější vibrace budou vážně ovlivňovat přesnost přesné staticky tlakové vzduchové plovoucí plošiny. Přestože přesná žulová základna má určitou tlumicí kapacitu, i vysoce odolné vibrace mohou překročit její vyrovnávací limit. Vibrace generované dopravou v okolí továrny a provozem velkých mechanických zařízení se přenášejí na žulovou základnu přes zem, což ovlivňuje přesnost pohybu plošiny. U špičkových souřadnicových měřicích strojů (CMM) mohou vibrace způsobit nestabilní kontakt mezi měřicí sondou a měřeným obrobkem, což vede k odchylkám v naměřených datech. Aby se tento problém vyřešil, je nutné přijmout účinná opatření k izolaci vibrací, jako je položení podložek pro izolaci vibrací v oblasti instalace zařízení, vybudování základů pro izolaci vibrací nebo použití aktivního systému izolace vibrací k aktivní kompenzaci vnějších vibrací a vytvoření tichého a stabilního pracovního prostředí pro přesnou žulovou základnu a přesnou staticky tlakovou vzduchovou plovoucí plošinu.
Splňte výše uvedené environmentální požadavky, abyste plně využili výhody přesné žulové základny v přesné platformě s plovoucím pohybem o statickém tlaku vzduchu a zajistili, že platforma poskytuje vysoce přesné a stabilní služby řízení pohybu pro různá průmyslová odvětví. Pokud podniky věnují těmto detailům ve výrobním prostředí pozornost, využijí příležitosti v přesné výrobě, vědeckém výzkumu a dalších oblastech, zvýší svou konkurenceschopnost a dosáhnou udržitelného rozvoje.
Čas zveřejnění: 10. dubna 2025