Žula se již mnoho let široce používá při výrobě a konstrukci polovodičových zařízení. To je dáno jejími vynikajícími vlastnostmi, které z ní činí ideální materiál pro mnoho aplikací. Žula je vysoce odolná vůči opotřebení, korozi a tepelným šokům, což ji činí vhodnou pro použití v náročných podmínkách. V tomto článku se budeme zabývat některými běžnými aplikacemi žuly v polovodičových zařízeních.
1. Metrologické vybavení
Metrologické zařízení se používá k měření rozměrů a vlastností polovodičových součástek. Žula se často používá jako základ pro taková zařízení díky své vysoké rozměrové stabilitě. Rovinnost a přesnost povrchu žuly poskytují ideální referenci pro přesná měření. Tepelná stabilita žuly navíc snižuje riziko rozměrových změn v důsledku teplotních výkyvů.
2. Optické zařízení
Žula se také používá v optických zařízeních, jako jsou litografické stroje, které se používají při výrobě polovodičových součástek. Žulová základna poskytuje stabilní platformu pro vysoce přesnou optiku používanou v těchto strojích. Vynikající vlastnosti žuly pro tlumení vibrací také pomáhají snižovat vibrace, které mohou ovlivnit výkon a přesnost optiky.
3. Zařízení pro zpracování oplatek
Zpracování polovodičových destiček zahrnuje několik kroků, včetně čištění, leptání a nanášení. Žula se používá v několika součástech zařízení pro zpracování destiček. Například žula se používá jako substrát pro zařízení pro chemické nanášení z plynné fáze (CVD), které se používá k nanášení tenkých vrstev na křemíkové destičky. Žula se také používá při konstrukci leptacích komor a dalších procesních nádob, kde je nezbytná její vynikající chemická odolnost a rozměrová stabilita.
4. Zkušební zařízení
Testovací zařízení se používá k ověřování výkonu a kvality polovodičových součástek. Žula se často používá jako základna pro testovací zařízení díky své vysoké tuhosti a stabilitě. Žula poskytuje nemagnetickou a nevodivou platformu, která eliminuje rušení citlivými testovacími zařízeními. Rovinnost a přesnost žulového povrchu umožňuje vysoce přesné výsledky testů.
Závěr
Závěrem lze říci, že žula je důležitým materiálem při návrhu a výrobě polovodičových zařízení. Díky svým vynikajícím vlastnostem, včetně rozměrové stability, tepelné stability, chemické odolnosti a tlumení vibrací, je ideálním materiálem pro mnoho aplikací. Žula se používá v několika klíčových součástkách polovodičových zařízení, včetně metrologických zařízení, optických zařízení, zařízení pro zpracování destiček a testovacích zařízení. Vzhledem k tomu, že poptávka po rychlejších, menších a výkonnějších polovodičových součástkách neustále roste, je pravděpodobné, že použití žuly v polovodičových zařízeních zůstane nezbytné.
Čas zveřejnění: 8. dubna 2024