Žula se po mnoho let široce používá ve výrobě a navrhování polovodičového vybavení. Důvodem je kvůli jeho vynikajícím vlastnostem, díky nimž je ideální materiál pro mnoho aplikací. Žula je vysoce odolná vůči opotřebení, korozi a tepelným šokům, díky čemuž je vhodný pro použití v drsném prostředí. V tomto článku budeme diskutovat o některých běžných aplikacích žuly v polovodičovém vybavení.
1. Metrologické vybavení
Metrologické zařízení se používá k měření rozměrů a vlastností polovodičových zařízení. Žula se často používá jako základna pro takové zařízení kvůli jeho vysoké rozměrové stabilitě. Rovná a přesnost žulového povrchu poskytuje ideální referenci pro přesná měření. Tepelná stabilita Granite navíc snižuje riziko změn rozměrů v důsledku změn teploty.
2. optické vybavení
Žula se také používá v optických zařízeních, jako jsou litografické stroje, které se používají při výrobě polovodičových zařízení. Žulová základna poskytuje stabilní platformu pro vysoce přesnou optiku používanou v těchto strojích. Vynikající vlastnosti tlumení vibrací Granite také pomáhají snižovat vibrace, které mohou ovlivnit výkon a přesnost optiky.
3. zařízení zpracování oplatky
Zpracování polovodiče oplatky zahrnuje několik kroků, včetně čištění, leptání a depozice. Žula se používá v několika komponentách zařízení pro zpracování oplatky. Například žula se používá jako substrát pro zařízení pro chemické depozice par (CVD), které se používá k vložení tenkých filmů na křemíkové oplatky. Žula se také používá při konstrukci leptacích komor a dalších procesů, kde je nezbytná jeho vynikající chemická odolnost a rozměrová stabilita.
4. Zkušební zařízení
Testovací zařízení se používá k ověření výkonu a kvality polovodičových zařízení. Žula se často používá jako základna pro zkušební zařízení kvůli jeho vysoké rigiditě a stabilitě. Granite poskytuje nemagnetickou a nevodivou platformu, která eliminuje rušení s citlivým testovacím zařízením. Rovná a přesnost žulového povrchu umožňují vysoce přesné výsledky testu.
Závěr
Závěrem je žula důležitým materiálem při návrhu a výrobě polovodičového vybavení. Jeho vynikající vlastnosti, včetně rozměrové stability, tepelné stability, chemické odolnosti a tlumení vibrací, z něj činí ideální materiál pro mnoho aplikací. Žula se používá v několika kritických součástech polovodičového vybavení, včetně metrologického vybavení, optického vybavení, zařízení pro zpracování oplatky a testovacího zařízení. Vzhledem k tomu, že poptávka po rychlejších, menších a výkonnějších polovodičových zařízeních stále roste, pravděpodobně zůstane použití žuly v polovodičovém vybavení.
Čas příspěvku: APR-08-2024