♦Alumina (Al2O3)
Přesné keramické díly vyráběné společností ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) mohou být vyrobeny z vysoce čistých keramických surovin, 92 ~ 97 % oxidu hlinitého, 99,5 % oxidu hlinitého, > 99,9 % oxidu hlinitého a CIP izostatického lisování za studena.Vysokoteplotní slinování a přesné obrábění, rozměrová přesnost ± 0,001 mm, hladkost až Ra0,1, použití teploty až 1600 stupňů.Různé barvy keramiky lze vyrobit dle požadavků zákazníků jako např.: černá, bílá, béžová, tmavě červená atd. Precizní keramické díly vyráběné naší společností jsou odolné vůči vysokým teplotám, korozi, opotřebení a izolaci a mohou být používá se po dlouhou dobu v prostředí s vysokou teplotou, vakuem a korozivním plynem.
Široce se používá v různých zařízeních pro výrobu polovodičů: rámy (keramický držák), substrát (základna), rameno/můstek (manipulátor), mechanické součásti a keramické vzduchové ložisko.
jméno výrobku | Keramická čtvercová trubka / trubka / tyč z hliníku s vysokou čistotou 99 | |||||
Index | Jednotka | 85 % A1203 | 95 % A1203 | 99 % A1203 | 99,5 % A1203 | |
Hustota | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3.8 | 3.9 | |
Absorbce vody | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Teplota spékání | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Tvrdost | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Pevnost v ohybu (20℃)) | Mpa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Pevnost v tlaku | kgf/cm2 | 10 000 | 25 000 | 30 000 | 30 000 | |
Dlouhodobá pracovní teplota | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Max.Pracovní teplota | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Objemový odpor | 20℃ | Ω.cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | >109 | >1010 | >1012 | >1012 |
Aplikace vysoce čisté keramiky z oxidu hlinitého:
1. Aplikováno na polovodičová zařízení: keramické vakuové sklíčidlo, řezný kotouč, čisticí kotouč, keramické sklíčidlo.
2. Části pro přenos destiček: sklíčidla pro manipulaci s destičkami, kotouče na řezání destiček, kotouče na čištění destiček, přísavky pro optickou kontrolu destiček.
3. LED / LCD plochý displej průmysl: keramická tryska, keramický brusný kotouč, LIFT PIN, PIN kolejnice.
4. Optická komunikace, solární průmysl: keramické trubice, keramické tyče, sítotiskové keramické škrabky na desky plošných spojů.
5. Tepelně odolné a elektricky izolující části: keramická ložiska.
V současnosti lze keramiku z oxidu hlinitého rozdělit na vysoce čistou a běžnou keramiku.Série keramiky z oxidu hlinitého s vysokou čistotou se týká keramického materiálu obsahujícího více než 99,9 % Al2O3.Kvůli teplotě slinování až 1650 - 1990 °C a vlnové délce přenosu 1 ~ 6 μm se obvykle zpracovává na tavené sklo místo platinového kelímku: který lze použít jako sodíkovou trubici díky své propustnosti světla a odolnosti proti korozi alkalického kovu.V elektronickém průmyslu může být použit jako vysokofrekvenční izolační materiál pro IC substráty.Podle různých obsahů oxidu hlinitého lze běžnou keramickou řadu oxidu hlinitého rozdělit na 99 keramik, 95 keramik, 90 keramik a 85 keramik.Někdy je keramika s 80 % nebo 75 % oxidu hlinitého také klasifikována jako běžná řada keramiky z oxidu hlinitého.Mezi nimi se keramický materiál z oxidu hlinitého 99 používá k výrobě vysokoteplotního kelímku, ohnivzdorných trubek pece a speciálních materiálů odolných proti opotřebení, jako jsou keramická ložiska, keramická těsnění a ventilové desky.Hliníková keramika 95 se používá hlavně jako součást odolná proti opotřebení odolná proti korozi.85 keramika je často smíchána v některých vlastnostech, čímž se zlepšuje elektrický výkon a mechanická pevnost.Může používat molybden, niob, tantal a další kovová těsnění a některá se používají jako elektrická vakuová zařízení.
Kvalitní položka (reprezentativní hodnota) | jméno výrobku | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
Chemické složení Produkt s nízkým obsahem sodíku pro snadné slinování | H2O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
LOl | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al203 | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Střední průměr částic (MT-3300, metoda laserové analýzy) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
α Velikost krystalu | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Tvarovací hustota** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Hustota slinování** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
Rychlost smršťování slinovací linky** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MgO se nezapočítává do výpočtu čistoty Al₂O3.
* Žádný usazovací prášek 29,4 MPa (300 kg/cm²), teplota slinování je 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Přidejte 0,05 ~ 0,1% MgO, slinovatelnost je vynikající, takže je použitelná pro keramiku z oxidu hlinitého s čistotou vyšší než 99%.
AES-22S: Vyznačuje se vysokou hustotou tváření a nízkou rychlostí smršťování slinovací linky, je použitelný pro lití do kluzných forem a jiné velkoobjemové výrobky s požadovanou rozměrovou přesností.
AES-23 / AES-31-03: Má vyšší hustotu tváření, tixotropii a nižší viskozitu než AES-22S.první se používá na keramiku, zatímco druhý se používá jako omezovač vody pro ohnivzdorné materiály a získává na popularitě.
♦ Vlastnosti karbidu křemíku (SiC).
Obecná charakteristika | Čistota hlavních složek (hmot. %) | 97 | |
Barva | Černá | ||
Hustota (g/cm³) | 3.1 | ||
Absorbce vody (%) | 0 | ||
Mechanické vlastnosti | Pevnost v ohybu (MPa) | 400 | |
Youngův modul (GPa) | 400 | ||
Tvrdost podle Vickerse (GPa) | 20 | ||
Tepelné vlastnosti | Maximální provozní teplota (°C) | 1600 | |
Koeficient tepelné roztažnosti | RT~500°C | 3.9 | |
(1/°C x 10-6) | RT~800°C | 4.3 | |
Tepelná vodivost (W/m x K) | 130 110 | ||
Odolnost proti tepelným šokům ΔT (°C) | 300 | ||
Elektrické charakteristiky | Objemový odpor | 25 °C | 3 x 106 |
300 °C | - | ||
500 °C | - | ||
800 °C | - | ||
Dielektrická konstanta | 10 GHz | - | |
Dielektrická ztráta (x 10-4) | - | ||
Q Factor (x 104) | - | ||
Dielektrické průrazné napětí (KV/mm) | - |
♦ Keramika z nitridu křemíku
Materiál | Jednotka | Si3N4 |
Metoda slinování | - | Plyn tlakově sintrovaný |
Hustota | g/cm³ | 3.22 |
Barva | - | Tmavošedý |
Míra absorpce vody | % | 0 |
Mladý modul | Gpa | 290 |
Tvrdost podle Vickerse | Gpa | 18-20 |
Pevnost v tlaku | Mpa | 2200 |
Pevnost v ohybu | Mpa | 650 |
Tepelná vodivost | W/mK | 25 |
Odolnost proti tepelným šokům | Δ (°C) | 450–650 |
Maximální provozní teplota | °C | 1200 |
Objemový odpor | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrická konstanta | - | 8.2 |
Dielektrická pevnost | kV/mm | 16 |