♦ Alumina (al2O3)
Přesné keramické části produkované inteligentní výrobní skupinou Zhonghui (ZHHIMG) mohou být vyrobeny z vysoce čistých keramických surovin, 92 ~ 97% oxidu hliníku, 99,5% aluminy,> 99,9% aluminy a CIP studeného izostatického lisu. Vysoko teploty slinování a přesné obrábění, rozměrová přesnost ± 0,001 mm, hladkost až do RA0,1, použijte teplotu až do 1600 stupňů. Různé barvy keramiky mohou být vytvořeny podle požadavků zákazníků, jako jsou: černá, bílá, béžová, tmavě červená atd. Přesné keramické díly produkované naší společností jsou odolné vůči vysoké teplotě, korozi, opotřebení a izolaci a lze je používat po dlouhou dobu při vysoké teplotě, vakuovém a korozivním plynovém prostředí.
Široce se používá v různých výrobních zařízeních polovodičů: rámy (keramická konzola), substrát (základna), rameno/ most (manipulátor), mechanické komponenty a keramické vzduchové ložisko.
Název produktu | Vysoká čistota 99 Alumina keramická čtvercová trubice / trubka / tyč | |||||
Index | Jednotka | 85 % AL2O3 | 95 % AL2O3 | 99 % AL2O3 | 99,5 % AL2O3 | |
Hustota | g/cm3 | 3.3 | 3.65 | 3.8 | 3.9 | |
Absorpce vody | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
Slinná teplota | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
Tvrdost | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
Síla ohýbání (20 ℃)) | MPA | 200 | 300 | 340 | 360 | |
Síla tlaku | KGF/CM2 | 10000 | 25000 | 30000 | 30000 | |
Dlouhá pracovní teplota | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
Max. Pracovní teplota | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
Odpor objemu | 20 ℃ | Ω. CM3 | > 1013 | > 1013 | > 1013 | > 1013 |
100 ℃ | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | 1012-1013 | ||
300 ℃ | > 109 | > 1010 | > 1012 | > 1012 |
Aplikace keramiky s vysokou čistotou alumina:
1. Aplikováno na polovodičové vybavení: keramický vakuový sklíčidlo, řezací disk, čisticí disk, keramický sklíčidlo.
2. PŘIPOJENÍ PŘIPOJENÍ PŘIPOJENÍ PŘEDPOKLADY: Chucks Manipulace s oplatkou, Disky řezání oplatky, Disky čištění oplatky, optické inspekční poháry.
3. LED / LCD Plochý panel Průmysl: Keramická tryska, keramický broušený disk, výtahový kolík, kolík.
4. optická komunikace, sluneční průmysl: keramický trubky, keramické tyče, keramický škrabky na obrazovce desky.
5. Tepelně rezistentní a elektricky izolační části: keramická ložiska.
V současné době lze keramiku oxidu hlinitého rozdělit na vysokou čistotu a běžnou keramiku. Série keramiky oxidu hliníku s vysokou čistotou se týká keramického materiálu obsahujícího více než 99,9% al₂o₃. Vzhledem k jeho slinovací teplotě až do 1650 - 1990 ° C a jeho přenosové vlnové délky 1 ~ 6 μm se obvykle zpracovává do fúzovaného skla místo platinového kelímku: které lze použít jako trubici sodíku v důsledku jeho propustnosti světla a odolnosti proti korozi vůči alkálickému kovu. V elektronickém průmyslu může být použit jako vysokofrekvenční izolační materiál pro substráty IC. Podle odlišného obsahu oxidu hlinitého lze běžnou sérii oxidu hliníku rozdělit na 99 keramiky, 95 keramiky, 90 keramiky a 85 keramiky. Někdy je keramika s 80% nebo 75% oxidu hliníku také klasifikována jako běžná série oxidu hlinitého. Mezi nimi se k výrobě vysokoteplotního kelímku, ohniskové pecí a speciálních materiálů odolných proti oxidu, jako jsou keramická ložiska, keramická těsnění a chlopně a ventilových destiček použijí 99 keramický materiál oxidu hliníku, se používá k výrobě vysokoteplotních kelímků. 95 Hliníková keramika se používá hlavně jako část opotřebení odolná vůči korozi. 85 Ceramika je často smíchána v některých vlastnostech, čímž se zlepšuje elektrický výkon a mechanickou pevnost. Může používat molybden, niobium, tantalum a další kovové těsnění a některé se používají jako elektrická vakuová zařízení.
Kvalitní položka (reprezentativní hodnota) | Název produktu | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22s | AES-23 | AL-31-03 | |
Chemické složení s nízkým sodíkem Easy slinovací produkt | H₂o | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
Lol | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
Sio₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
Na₂o | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
MGO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
Průměr střední částice (MT-3300, metoda laserové analýzy) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
a velikost krystalu | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
Hustota formování ** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2.35 | 2.57 | 2.56 | |
Hustota slinování ** | g/cm³ | 3.88 | 3.93 | 3.94 | 3.93 | 3.88 | 3.77 | 3.22 | |
Shrinking rychlost linie slinování ** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 |
* MGO není zahrnuto do výpočtu čistoty al₂o₃.
* Žádný škálovací prášek 29,4 MPA (300 kg/cm²), teplota slinování je 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Přidejte 0,05 ~ 0,1% MGO, upřímnost je vynikající, takže je použitelná pro keramiku oxidu hlinitého s čistotou více než 99%.
AES-22s: Charakterizovaný vysokou hustotou formování a nízkou rychlostí zmenšení slinovací linie je použitelný pro odlévání formulářů a další rozsáhlé produkty s požadovanou přesností rozměru.
AES-23 / AES-31-03: Má vyšší hustotu formování, thixotropii a nižší viskozitu než AES-22. První z nich se používá k keramice, zatímco druhý se používá jako redukující voda pro ohnivzdorné materiály a získává popularitu.
♦ Charakteristiky křemíkového karbidu (SIC)
Obecné vlastnosti | Čistota hlavních komponent (hm.%) | 97 | |
Barva | Černý | ||
Hustota (g/cm³) | 3.1 | ||
Absorpce vody (%) | 0 | ||
Mechanické vlastnosti | Síla ohybu (MPA) | 400 | |
Mladý modul (GPA) | 400 | ||
Vickers tvrdost (GPA) | 20 | ||
Tepelné charakteristiky | Maximální provozní teplota (° C) | 1600 | |
Koeficient tepelné roztažnosti | RT ~ 500 ° C. | 3.9 | |
(1/° C x 10-6) | RT ~ 800 ° C. | 4.3 | |
Tepelná vodivost (W/M X K) | 130 110 | ||
Odolnost proti tepelnému šoku ΔT (° C) | 300 | ||
Elektrické vlastnosti | Odpor objemu | 25 ° C. | 3 x 106 |
300 ° C. | - | ||
500 ° C. | - | ||
800 ° C. | - | ||
Dielektrická konstanta | 10 GHz | - | |
Dielektrická ztráta (x 10-4) | - | ||
Q faktor (x 104) | - | ||
Dielektrické rozkládání napětí (kV/mm) | - |
♦ Keramika nitridu křemíku
Materiál | Jednotka | Si₃n₄ |
Metoda slinování | - | Tlak plynu slinný |
Hustota | g/cm³ | 3.22 |
Barva | - | Tmavě šedá |
Míra absorpce vody | % | 0 |
Mladý modul | GPA | 290 |
Vickersova tvrdost | GPA | 18 - 20 |
Síla tlaku | MPA | 2200 |
Ohýbání síly | MPA | 650 |
Tepelná vodivost | W/mk | 25 |
Odolnost tepelného nárazu | Δ (° C) | 450 - 650 |
Maximální provozní teplota | ° C. | 1200 |
Odpor objemu | Ω · cm | > 10 ^ 14 |
Dielektrická konstanta | - | 8.2 |
Dielektrická síla | KV/MM | 16 |