♦Oxid hlinitý (Al2O3)
Přesné keramické díly vyráběné společností ZhongHui Intelligent Manufacturing Group (ZHHIMG) mohou být vyrobeny z vysoce čistých keramických surovin, 92~97% oxidu hlinitého, 99,5% oxidu hlinitého, >99,9% oxidu hlinitého a lisovány za studena izostaticky CIP. Vysokoteplotní spékání a přesné obrábění, rozměrová přesnost ± 0,001 mm, hladkost až Ra0,1, použitelná teplota až 1600 stupňů. Lze vyrobit různé barvy keramiky dle požadavků zákazníka, například: černá, bílá, béžová, tmavě červená atd. Přesné keramické díly vyráběné naší společností jsou odolné vůči vysokým teplotám, korozi, opotřebení a izolaci a lze je dlouhodobě používat ve vysokoteplotním, vakuovém a korozivním plynném prostředí.
Široce používán v různých zařízeních pro výrobu polovodičů: rámy (keramický držák), substrát (základna), rameno/můstek (manipulátor), mechanické součásti a keramická vzduchová ložiska.
| Název produktu | Vysoce čistá 99 hliníková keramická čtvercová trubka / potrubí / tyč | |||||
| Index | Jednotka | 85 % Al₂O₃ | 95 % Al₂O₃ | 99 % Al₂O₃ | 99,5 % Al₂O₃ | |
| Hustota | g/cm3 | 3.3 | 3,65 | 3,8 | 3,9 | |
| Absorpce vody | % | <0,1 | <0,1 | 0 | 0 | |
| Teplota slinutí | ℃ | 1620 | 1650 | 1800 | 1800 | |
| Tvrdost | Mohs | 7 | 9 | 9 | 9 | |
| Pevnost v ohybu (20 °C) | MPa | 200 | 300 | 340 | 360 | |
| Pevnost v tlaku | kgf/cm2 | 10 000 | 25 000 | 30000 | 30000 | |
| Dlouhodobá pracovní teplota | ℃ | 1350 | 1400 | 1600 | 1650 | |
| Max. pracovní teplota | ℃ | 1450 | 1600 | 1800 | 1800 | |
| Objemový měrný odpor | 20 °C | Ω. cm3 | >1013 | >1013 | >1013 | >1013 |
| 100 °C | 1012–1013 | 1012–1013 | 1012–1013 | 1012–1013 | ||
| 300 °C | >109 | >1010 | >1012 | >1012 | ||
Použití vysoce čisté aluminové keramiky:
1. Použití v polovodičových zařízeních: keramické vakuové sklíčidlo, řezný kotouč, čisticí kotouč, keramické sklíčidlo.
2. Díly pro přenos destiček: upínače pro manipulaci s destičkami, řezací kotouče pro destičky, čisticí kotouče pro destičky, přísavky pro optickou kontrolu destiček.
3. Průmysl plochých LED / LCD displejů: keramická tryska, keramický brusný kotouč, ZVEDACÍ PIN, lišta PIN.
4. Optická komunikace, solární průmysl: keramické trubice, keramické tyče, keramické škrabky pro sítotisk desek plošných spojů.
5. Tepelně odolné a elektricky izolační části: keramická ložiska.
V současné době lze keramiku z oxidu hlinitého rozdělit na vysoce čistou a běžnou keramiku. Řada vysoce čisté keramiky z oxidu hlinitého označuje keramický materiál obsahující více než 99,9 % Al₂O₃. Vzhledem k teplotě slinování až 1650–1990 °C a vlnové délce přenosu 1 ~ 6 μm se obvykle zpracovává do taveného skla místo platinového kelímku, který lze díky propustnosti světla a odolnosti proti korozi alkalických kovů použít jako sodíkové trubice. V elektronickém průmyslu lze keramiku z oxidu hlinitého použít jako vysokofrekvenční izolační materiál pro substráty integrovaných obvodů. Podle různého obsahu oxidu hlinitého lze běžnou keramiku z oxidu hlinitého rozdělit na keramiku 99, keramiku 95, keramiku 90 a keramiku 85. Někdy se keramika s 80 % nebo 75 % oxidu hlinitého také klasifikuje jako běžná keramika z oxidu hlinitého. Mezi nimi se keramický materiál z oxidu hlinitého 99 používá k výrobě vysokoteplotních kelímků, ohnivzdorných trubek pecí a speciálních materiálů odolných proti opotřebení, jako jsou keramická ložiska, keramická těsnění a ventilové desky. Hliníková keramika 95 se používá hlavně jako korozivzdorná a opotřebitelné součásti. Keramika 85 se často mísí s jinými vlastnostmi, čímž se zlepšuje elektrický výkon a mechanická pevnost. Lze použít molybden, niob, tantal a další kovová těsnění a některé se používají jako elektrická vakuová zařízení.
| Kvalitní položka (reprezentativní hodnota) | Název produktu | AES-12 | AES-11 | AES-11C | AES-11F | AES-22S | AES-23 | AL-31-03 | |
| Chemické složení: Produkt s nízkým obsahem sodíku, snadno spékatelný | H₂O | % | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 |
| LOL | % | 0,1 | 0,2 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | 0,1 | |
| Fe₂0₃ | % | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | 0,01 | |
| SiO₂ | % | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,03 | 0,02 | 0,04 | 0,04 | |
| Na₂O | % | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,04 | 0,02 | 0,04 | 0,03 | |
| MgO* | % | - | 0,11 | 0,05 | 0,05 | - | - | - | |
| Al₂0₃ | % | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | 99,9 | |
| Střední průměr částic (MT-3300, metoda laserové analýzy) | μm | 0,44 | 0,43 | 0,39 | 0,47 | 1.1 | 2.2 | 3 | |
| Velikost krystalu α | μm | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 | 0,3 ~ 1,0 | 0,3 ~ 4 | 0,3 ~ 4 | |
| Hustota tváření** | g/cm³ | 2.22 | 2.22 | 2.2 | 2.17 | 2,35 | 2,57 | 2,56 | |
| Hustota slinování** | g/cm³ | 3,88 | 3,93 | 3,94 | 3,93 | 3,88 | 3,77 | 3.22 | |
| Rychlost smrštění spékací linky** | % | 17 | 17 | 18 | 18 | 15 | 12 | 7 | |
* MgO není zahrnut do výpočtu čistoty Al₂O₃.
* Prášek bez okují 29,4 MPa (300 kg/cm²), teplota slinování je 1600 °C.
AES-11 / 11C / 11F: Přidáním 0,05 ~ 0,1 % MgO dosáhnete vynikající spékavosti, takže je vhodný pro keramiku z oxidu hlinitého s čistotou více než 99 %.
AES-22S: Vyznačuje se vysokou hustotou tváření a nízkou mírou smršťování slinovací linky, je použitelná pro odlévání do posuvných forem a dalších velkoformátových výrobků s požadovanou rozměrovou přesností.
AES-23 / AES-31-03: Má vyšší tvářitelnou hustotu, tixotropii a nižší viskozitu než AES-22S. První jmenovaný se používá do keramiky, zatímco druhý se používá jako reduktor vody pro nehořlavé materiály a získává na popularitě.
♦Charakteristiky karbidu křemíku (SiC)
| Obecné charakteristiky | Čistota hlavních složek (hm. %) | 97 | |
| Barva | Černý | ||
| Hustota (g/cm³) | 3.1 | ||
| Absorpce vody (%) | 0 | ||
| Mechanické vlastnosti | Pevnost v ohybu (MPa) | 400 | |
| Youngův modul (GPa) | 400 | ||
| Tvrdost dle Vickerse (GPa) | 20 | ||
| Tepelné vlastnosti | Maximální provozní teplota (°C) | 1600 | |
| Koeficient tepelné roztažnosti | RT ~500 °C | 3,9 | |
| (1/°C x 10⁻⁶) | RT ~800 °C | 4.3 | |
| Tepelná vodivost (W/m x K) | 130 110 | ||
| Odolnost proti tepelnému šoku ΔT (°C) | 300 | ||
| Elektrické vlastnosti | Objemový odpor | 25 °C | 3 × 106 |
| 300 °C | - | ||
| 500 °C | - | ||
| 800 °C | - | ||
| Dielektrická konstanta | 10 GHz | - | |
| Dielektrické ztráty (x 10-4) | - | ||
| Q faktor (x 104) | - | ||
| Dielektrické průrazné napětí (kV/mm) | - | ||
♦Keramika z nitridu křemíku
| Materiál | Jednotka | Si₃N₄ |
| Metoda spékání | - | Slinuté tlakem plynu |
| Hustota | g/cm³ | 3.22 |
| Barva | - | Tmavě šedá |
| Míra absorpce vody | % | 0 |
| Youngův modul | Průměrné hodnocení (GPA) | 290 |
| Tvrdost podle Vickerse | Průměrné hodnocení (GPA) | 18 - 20 |
| Pevnost v tlaku | MPa | 2200 |
| Pevnost v ohybu | MPa | 650 |
| Tepelná vodivost | W/mK | 25 |
| Odolnost proti tepelným šokům | Δ (°C) | 450 - 650 |
| Maximální provozní teplota | °C | 1200 |
| Objemový měrný odpor | Ω·cm | > 10 ^ 14 |
| Dielektrická konstanta | - | 8.2 |
| Dielektrická pevnost | kV/mm | 16 |