Materiál - keramika

♦ Alumina (al2O3)

Přesné keramické části produkované inteligentní výrobní skupinou Zhonghui (ZHHIMG) mohou být vyrobeny z vysoce čistých keramických surovin, 92 ~ 97% oxidu hliníku, 99,5% aluminy,> 99,9% aluminy a CIP studeného izostatického lisu. Vysoko teploty slinování a přesné obrábění, rozměrová přesnost ± 0,001 mm, hladkost až do RA0,1, použijte teplotu až do 1600 stupňů. Různé barvy keramiky mohou být vytvořeny podle požadavků zákazníků, jako jsou: černá, bílá, béžová, tmavě červená atd. Přesné keramické díly produkované naší společností jsou odolné vůči vysoké teplotě, korozi, opotřebení a izolaci a lze je používat po dlouhou dobu při vysoké teplotě, vakuovém a korozivním plynovém prostředí.

Široce se používá v různých výrobních zařízeních polovodičů: rámy (keramická konzola), substrát (základna), rameno/ most (manipulátor), mechanické komponenty a keramické vzduchové ložisko.

Al2O3

Název produktu Vysoká čistota 99 Alumina keramická čtvercová trubice / trubka / tyč
Index Jednotka 85 % AL2O3 95 % AL2O3 99 % AL2O3 99,5 % AL2O3
Hustota g/cm3 3.3 3.65 3.8 3.9
Absorpce vody % <0,1 <0,1 0 0
Slinná teplota 1620 1650 1800 1800
Tvrdost Mohs 7 9 9 9
Síla ohýbání (20 ℃)) MPA 200 300 340 360
Síla tlaku KGF/CM2 10000 25000 30000 30000
Dlouhá pracovní teplota 1350 1400 1600 1650
Max. Pracovní teplota 1450 1600 1800 1800
Odpor objemu 20 ℃ Ω. CM3 > 1013 > 1013 > 1013 > 1013
100 ℃ 1012-1013 1012-1013 1012-1013 1012-1013
300 ℃ > 109 > 1010 > 1012 > 1012

Aplikace keramiky s vysokou čistotou alumina:
1. Aplikováno na polovodičové vybavení: keramický vakuový sklíčidlo, řezací disk, čisticí disk, keramický sklíčidlo.
2. PŘIPOJENÍ PŘIPOJENÍ PŘIPOJENÍ PŘEDPOKLADY: Chucks Manipulace s oplatkou, Disky řezání oplatky, Disky čištění oplatky, optické inspekční poháry.
3. LED / LCD Plochý panel Průmysl: Keramická tryska, keramický broušený disk, výtahový kolík, kolík.
4. optická komunikace, sluneční průmysl: keramický trubky, keramické tyče, keramický škrabky na obrazovce desky.
5. Tepelně rezistentní a elektricky izolační části: keramická ložiska.
V současné době lze keramiku oxidu hlinitého rozdělit na vysokou čistotu a běžnou keramiku. Série keramiky oxidu hliníku s vysokou čistotou se týká keramického materiálu obsahujícího více než 99,9% al₂o₃. Vzhledem k jeho slinovací teplotě až do 1650 - 1990 ° C a jeho přenosové vlnové délky 1 ~ 6 μm se obvykle zpracovává do fúzovaného skla místo platinového kelímku: které lze použít jako trubici sodíku v důsledku jeho propustnosti světla a odolnosti proti korozi vůči alkálickému kovu. V elektronickém průmyslu může být použit jako vysokofrekvenční izolační materiál pro substráty IC. Podle odlišného obsahu oxidu hlinitého lze běžnou sérii oxidu hliníku rozdělit na 99 keramiky, 95 keramiky, 90 keramiky a 85 keramiky. Někdy je keramika s 80% nebo 75% oxidu hliníku také klasifikována jako běžná série oxidu hlinitého. Mezi nimi se k výrobě vysokoteplotního kelímku, ohniskové pecí a speciálních materiálů odolných proti oxidu, jako jsou keramická ložiska, keramická těsnění a chlopně a ventilových destiček použijí 99 keramický materiál oxidu hliníku, se používá k výrobě vysokoteplotních kelímků. 95 Hliníková keramika se používá hlavně jako část opotřebení odolná vůči korozi. 85 Ceramika je často smíchána v některých vlastnostech, čímž se zlepšuje elektrický výkon a mechanickou pevnost. Může používat molybden, niobium, tantalum a další kovové těsnění a některé se používají jako elektrická vakuová zařízení.

 

Kvalitní položka (reprezentativní hodnota) Název produktu AES-12 AES-11 AES-11C AES-11F AES-22s AES-23 AL-31-03
Chemické složení s nízkým sodíkem Easy slinovací produkt H₂o % 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Lol % 0,1 0,2 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Fe₂0₃ % 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01 0,01
Sio₂ % 0,03 0,03 0,03 0,03 0,02 0,04 0,04
Na₂o % 0,04 0,04 0,04 0,04 0,02 0,04 0,03
MGO* % - 0,11 0,05 0,05 - - -
Al₂0₃ % 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9 99,9
Průměr střední částice (MT-3300, metoda laserové analýzy) μm 0,44 0,43 0,39 0,47 1.1 2.2 3
a velikost krystalu μm 0,3 0,3 0,3 0,3 0,3 ~ 1,0 0,3 ~ 4 0,3 ~ 4
Hustota formování ** g/cm³ 2.22 2.22 2.2 2.17 2.35 2.57 2.56
Hustota slinování ** g/cm³ 3.88 3.93 3.94 3.93 3.88 3.77 3.22
Shrinking rychlost linie slinování ** % 17 17 18 18 15 12 7

* MGO není zahrnuto do výpočtu čistoty al₂o₃.
* Žádný škálovací prášek 29,4 MPA (300 kg/cm²), teplota slinování je 1600 ° C.
AES-11 / 11C / 11F: Přidejte 0,05 ~ 0,1% MGO, upřímnost je vynikající, takže je použitelná pro keramiku oxidu hlinitého s čistotou více než 99%.
AES-22s: Charakterizovaný vysokou hustotou formování a nízkou rychlostí zmenšení slinovací linie je použitelný pro odlévání formulářů a další rozsáhlé produkty s požadovanou přesností rozměru.
AES-23 / AES-31-03: Má vyšší hustotu formování, thixotropii a nižší viskozitu než AES-22. První z nich se používá k keramice, zatímco druhý se používá jako redukující voda pro ohnivzdorné materiály a získává popularitu.

♦ Charakteristiky křemíkového karbidu (SIC)

Obecné vlastnosti Čistota hlavních komponent (hm.%) 97
Barva Černý
Hustota (g/cm³) 3.1
Absorpce vody (%) 0
Mechanické vlastnosti Síla ohybu (MPA) 400
Mladý modul (GPA) 400
Vickers tvrdost (GPA) 20
Tepelné charakteristiky Maximální provozní teplota (° C) 1600
Koeficient tepelné roztažnosti RT ~ 500 ° C. 3.9
(1/° C x 10-6) RT ~ 800 ° C. 4.3
Tepelná vodivost (W/M X K) 130 110
Odolnost proti tepelnému šoku ΔT (° C) 300
Elektrické vlastnosti Odpor objemu 25 ° C. 3 x 106
300 ° C. -
500 ° C. -
800 ° C. -
Dielektrická konstanta 10 GHz -
Dielektrická ztráta (x 10-4) -
Q faktor (x 104) -
Dielektrické rozkládání napětí (kV/mm) -

20200507170353_55726

♦ Keramika nitridu křemíku

Materiál Jednotka Si₃n₄
Metoda slinování - Tlak plynu slinný
Hustota g/cm³ 3.22
Barva - Tmavě šedá
Míra absorpce vody % 0
Mladý modul GPA 290
Vickersova tvrdost GPA 18 - 20
Síla tlaku MPA 2200
Ohýbání síly MPA 650
Tepelná vodivost W/mk 25
Odolnost tepelného nárazu Δ (° C) 450 - 650
Maximální provozní teplota ° C. 1200
Odpor objemu Ω · cm > 10 ^ 14
Dielektrická konstanta - 8.2
Dielektrická síla KV/MM 16