V dílně na výrobu polovodičů jsou požadavky procesu výroby čipů na podmínky prostředí a přesnost zařízení extrémní a jakákoli nepatrná odchylka může vést k významnému poklesu výtěžnosti čipu. Přesná portálová platforma XYZT se spoléhá na žulové komponenty, které spolupracují s ostatními částmi platformy a vytvářejí pevný základ pro dosažení přesnosti v nanoměřítku.
Vynikající vlastnosti tlumení vibrací
V dílně na výrobu polovodičů může provoz periferních zařízení a pohyb personálu způsobovat vibrace. Vnitřní struktura žulových komponentů je hustá a rovnoměrná s přirozeně vysokými tlumicími vlastnostmi, jako účinná vibrační „bariéra“. Když se vnější vibrace přenášejí na platformu XYZT, žulová komponenta dokáže účinně tlumit více než 80 % vibrační energie a snížit rušení vibrací na přesnost pohybu platformy. Zároveň je platforma vybavena vysoce přesným systémem vzduchového plovákového vedení, který pracuje ve spojení s žulovými komponenty. Vzduchové plovákové vedení využívá stabilní plynový film tvořený vysokotlakým plynem k realizaci bezkontaktního pohybu zavěšení pohyblivých částí platformy a ke snížení malých vibrací způsobených mechanickým třením. Společně tyto dva prvky zajišťují, že přesnost polohování platformy je vždy udržována na nanometrové úrovni v klíčových procesech, jako je litografie a leptání čipů, a zabraňují odchylkám vzorů obvodů čipů způsobeným vibracemi.
Vynikající tepelná stabilita
Kolísání teploty a vlhkosti v dílně má velký vliv na přesnost zařízení pro výrobu čipů. Koeficient tepelné roztažnosti žuly je velmi nízký, obvykle 5-7 × 10⁻⁶/℃, takže velikost se při změně teploty téměř nemění. I když teplotní rozdíl mezi dnem a nocí v dílně nebo produkce tepla zařízením způsobí kolísání okolní teploty, žulové komponenty zůstanou stabilní, aby se zabránilo deformaci platformy v důsledku tepelné roztažnosti a smrštění. Inteligentní systém regulace teploty vybavený platformou zároveň monitoruje okolní teplotu v reálném čase, automaticky upravuje klimatizaci a zařízení pro odvod tepla a udržuje teplotu v dílně na 20 °C ± 1 °C. V kombinaci s výhodami tepelné stability žuly je zajištěno, že platforma při dlouhodobém provozu a přesnost pohybu každé osy vždy splňují standardy nanometrové přesnosti pro výrobu čipů, aby se zajistila přesnost velikosti litografického vzoru čipu a rovnoměrná hloubka leptání.
Splňte požadavky na čisté životní prostředí
Výrobna polovodičů musí udržovat vysoký stupeň čistoty, aby se zabránilo kontaminaci čipu prachovými částicemi. Žulový materiál sám o sobě neprodukuje prach a jeho povrch je hladký, takže prach snadno neabsorbuje. Plošina jako celek má plně uzavřenou nebo polouzavřenou konstrukci, která snižuje vnikání vnějšího prachu. Vnitřní systém cirkulace vzduchu je propojen s čistým klimatizačním systémem dílny, aby se zajistilo, že čistota vnitřního vzduchu dosáhne úrovně požadované pro výrobu čipů. V tomto čistém prostředí nebudou žulové komponenty ovlivňovat výkon v důsledku eroze prachu a klíčové komponenty platformy, jako jsou vysoce přesné senzory a motory, mohou také stabilně fungovat, což poskytuje nepřetržitou a spolehlivou záruku přesnosti v nanoměřítku pro výrobu čipů a pomáhá polovodičovému průmyslu posunout se na vyšší úroveň procesů.
Čas zveřejnění: 14. dubna 2025