Vzhledem k tomu, že polovodičový průmysl agresivně usiluje o procesní uzly s délkou pod 2 nm, prostor pro mechanické chyby prakticky zmizel. V tomto prostředí s vysokými sázkami již stabilita procesní komory není druhořadým problémem, ale primárním úzkým hrdlem pro výtěžnost. Ve společnosti ZHHIMG pozorujeme zásadní posun v přístupu globálních výrobců originálního vybavení (OEM) ke strukturální integritě polovodičových investičních zařízení.
Fyzika ticha: Pokročilé techniky tlumení vibrací
V moderní výrobě destiček jsou vibrace, které byly dříve považovány za „šum na pozadí“, nyní katastrofální. Ať už se jedná o mikrooscilace ze systému vytápění, větrání a klimatizace zařízení nebo o vnitřní setrvačnost vysokorychlostního skenovacího stolu, nekontrolovaná energie se přímo promítá do chyb v překrytí a rozmazaných vzorů.
Současné techniky tlumení vibrací ve výrobě polovodičů se vyvinuly do vícevrstvé architektury. Zatímco pasivní tlumení – využití vysoce hmotnostních materiálů, jako jsou minerální odlitky nebo přesná žula – zůstává základem, pozorujeme nárůst integrace aktivního tlumení.
Aktivní systémy využívají piezoelektrické aktuátory a senzory v reálném čase k „rušení“ vibrací generováním protifrekvencí. Účinnost aktivních systémů je však ze své podstaty omezena tlumícím poměrem základního materiálu. Zde se odborné znalosti společnosti ZHHIMG v oblasti vysoce tlumících konstrukčních materiálů stávají klíčovými. Kombinací aktivní elektroniky s přirozeně inertní žulovou nebo kompozitní základnou vytváříme „klidovou zónu“, kde může docházet k nanopolohování bez rušení.
Vzestup beztřecího pohybu: Technologie vzduchových ložisek
Požadavek na vyšší propustnost dotlačil tradiční mechanická ložiska na jejich hranice. Tření vede k zahřívání a teplo vede k tepelné roztažnosti – nepříteli přesnosti. To vedlo k širokému přijetítechnologie vzduchových ložisek pro přesné stolky.
Vzduchová ložiska nesou zatížení na tenké vrstvě stlačeného vzduchu, obvykle o tloušťce jen několik mikronů. Protože nedochází k žádnému fyzickému kontaktu, nedochází k žádnému statickému tření (stikci). To umožňuje:
-
Pohyb bez hystereze: Zajištění, aby se stolek pokaždé vrátil do přesně stejné nanometrové souřadnice.
-
Konstanta rychlosti: Kritická pro skenovací aplikace, jako je kontrola elektronovým paprskem, kde by i sebemenší „zub“ mechanického ložiska zkreslil obraz.
-
Extrémní životnost: Protože se žádné části nedotýkají, nedochází k opotřebení ani k tvorbě částic, což je činí ideálními pro prostředí čistých prostor třídy 1.
Ve společnosti ZHHIMG vyrábíme ultra ploché žulové povrchy, které slouží jako vodítka pro tato vzduchová ložiska. Aby tyto povrchy správně fungovaly, musí být lapovány do rovinnosti měřené ve zlomcích světelné vlnové délky.
Trendy v oblasti polovodičových kapitálových zařízení: rok 2026 a dále
Jak se blížíme k roku 2026,trendy v polovodičových kapitálových zařízeníchse vyznačují „třemi pilíři“: modularizací, udržitelností a tepelnou regulací.
-
Modulární návrh platformy: Výrobci originálního vybavení (OEM) hledají základní moduly typu „plug-and-play“. Místo navrhování nové základny pro každý nástroj využívají standardizované přesné základny ZHHIMG, které lze přizpůsobit pro litografii, metrologii nebo leptání.
-
Tepelný management: Protože zdroje extrémního ultrafialového záření (EUV) generují obrovské teplo, musí základna stroje fungovat jako masivní chladič. Integrujeme komplexní chladicí kanály přímo do našich minerálních a žulových komponentů, abychom udrželi deltu $<0,01^\circ\text{C}$.
-
Kompatibilita s vakuem: Vzhledem k tomu, že se stále více procesů přesouvá do prostředí s vysokým vakuem, musí použité materiály vykazovat nulové odplyňování. Naše specializované zpracování žuly a keramiky zajišťuje, že integrita vakua nebude nikdy ohrožena konstrukčním základem.
Strategické partnerství se společností ZHHIMG
Společnost ZHHIMG není jen výrobcem součástek; jsme strategickým partnerem v dodavatelském řetězci pro řízení pohybu. Náš závod v Číně úzce spolupracuje s inženýrskými týmy v Silicon Valley a Eindhovenu na řešení nejobtížnějších problémů se stabilitou v tomto odvětví.
Využitím našich vlastních lapovacích technik a hlubokých znalostítechniky tlumení vibrací, umožňujeme našim klientům posouvat hranice Mooreova zákona. Ať už vyvíjíte nástroj ALD (Atomic Layer Deposition) nové generace nebo vysokorychlostní sondu pro měření waferů, základy začínají se ZHHIMG.
Závěr
Vývoj výroby polovodičů je závodem proti zákonům fyziky. S blížícím se rokem 2026 se zaměření na přesnost vzduchových ložisek a pokročilé tlumení bude jen zesilovat. Udržet si náskok před těmito trendy vyžaduje základy – doslova i obrazně – založené na odborných znalostech a inovacích.
Čas zveřejnění: 26. ledna 2026