Systémy vzduchových ložisek z žuly se široce používají vultrapřesnýpohyblivé platformy pro výrobu polovodičů, optické zarovnání a metrologii v nanometrovém měřítku.
Tyto systémy eliminují mechanický kontakt pomocí tenkého filmu stlačeného vzduchu, čímž dosahují téměř nulového tření.
Princip vzduchového ložiska
Vzduchová ložiska fungují tak, že mezi dva povrchy vpouštějí stlačený vzduch, čímž vytvářejí vzduchový film o tloušťce 2–20 μm.
Tím se eliminuje:
- Mechanické tření
- Nosit
- Chování při zasekávání a skluzu
Systém se spoléhá na dynamiku tekutého filmu a stabilní laminární proudění.
Úloha žuly
Žula poskytuje:
- Strukturální stabilita
- Potlačení tepelného driftu
- Tlumení vibrací
Slouží jako mechanická referenční základna pro pohybový systém.
Systémové komponenty
- Žulová základna
- Vzduchové ložiskové destičky
- Systém přívodu vzduchu
- Přesné enkodéry
- Systém řízení pohybu
Výkonnostní charakteristiky
Typický výkon zahrnuje:
- Submikronová přesnost polohování
- Vysoká přímost při dlouhém chodu
- Nulová mechanická vůle
Mezi klíčové zdroje chyb patří nestabilita tlaku vzduchu, tepelný drift a chyba enkodéru.
Aplikace
- Inspekce polovodičových destiček
- Litografické systémy
- Optické zarovnávací platformy
- Špičkové metrologické stroje
Často kladené otázky
Opotřebovávají se vzduchová ložiska?
Žádný mechanický kontakt eliminuje opotřebení.
Proč používat žulu?
Pro stabilitu a tlumení vibrací.
Co omezuje přesnost?
Stabilita vzduchu a tepelné účinky.
Mohou nést těžké náklady?
Ano, v závislosti na provedení.
Čas zveřejnění: 3. července 2026