Žula je tvrdý a odolný materiál, který se často používá ve stavebnictví. Má však také vlastnosti, které ji činí užitečnou při výrobě polovodičů, zejména při výrobě a zpracování integrovaných obvodů. Žulové komponenty, jako jsou žulové stoly a žulové bloky, se široce používají pro svou stabilitu, rovinnost a nízký koeficient tepelné roztažnosti.
Jedním z hlavních použití žulových součástek při výrobě polovodičů je jejich výrobní proces. Křemíkové destičky, základní stavební bloky integrovaných obvodů, musí být vyrobeny s vysokou přesností a správností. Jakékoli deformace nebo pohyb během procesu může vést k vadám, které mohou ovlivnit kvalitu a funkčnost integrovaných obvodů. Žulové stoly díky své vysoké stabilitě a rovinnosti poskytují dobrou platformu pro zařízení pro zpracování destiček. Jsou také odolné vůči tepelné roztažnosti a smršťování způsobenému ohřevem a chlazením potřebným v procesu.
Žulové bloky se také používají při zpracování polovodičů pro svou tepelnou stabilitu. Během procesů leptání nebo nanášení se k úpravě povrchu křemíkového plátku používají horké plyny nebo plazma. Teplota plátku musí být řízena, aby se zajistilo, že proces probíhá efektivně a přesně. Žulové bloky s nízkým koeficientem tepelné roztažnosti pomáhají stabilizovat teplotu plátku a snižují riziko teplotních výkyvů, které by mohly ovlivnit kvalitu zpracovávaného materiálu.
Kromě výrobních a zpracovatelských procesů se žulové komponenty používají také v metrologických a kontrolních fázích výroby polovodičů. Metrologická měření se provádějí za účelem zajištění toho, aby velikost, tvar a umístění struktur na destičce odpovídaly požadovaným specifikacím. Žulové bloky se v těchto měřeních používají jako referenční standardy kvůli své rozměrové stabilitě a přesnosti. Používají se také v kontrolních fázích, kde se kvalita integrovaných obvodů kontroluje pod velkým zvětšením.
Celkově se v posledních letech zvýšilo používání žulových komponentů ve výrobě polovodičů. Potřeba vysoké přesnosti, správnosti a stability při výrobě a zpracování integrovaných obvodů vedla k přijetí těchto materiálů výrobci polovodičů. Jedinečné vlastnosti žuly, jako je její tvrdost, stabilita a nízký koeficient tepelné roztažnosti, z ní činí vynikající volbu pro použití v těchto procesech. S neustálým vývojem a zdokonalováním polovodičové technologie se očekává, že používání žulových komponentů v budoucnu dále poroste.
Čas zveřejnění: 5. prosince 2023