Žula je tvrdý a odolný materiál, který se často používá ve stavebnictví. Má však také vlastnosti, díky nimž je užitečnými při výrobě polovodičů, zejména při výrobě a zpracování integrovaných obvodů. Složky žuly, jako jsou žulové stoly a žulové bloky, se široce používají pro jejich stabilitu, rovinnost a nízký koeficient tepelné roztažnosti.
Jedním z primárních využití žulových komponent ve výrobě polovodičů je ve výrobním procesu. Křemíkové destičky, základní stavební bloky integrovaných obvodů, musí být vyrobeny s vysokou přesností a přesností. Jakékoli zkreslení nebo pohyb během procesu může vést k vadám, které mohou ovlivnit kvalitu a funkčnost integrovaných obvodů. Žulové stoly s jejich vysokou stabilitou a rovinností poskytují dobrou platformu pro zařízení pro zpracování oplatky. Jsou také odolné vůči tepelné roztažení a kontrakci způsobené vytápěním a chlazením potřebným v procesu.
Žulové bloky se také používají při zpracování polovodiče pro jejich tepelnou stabilitu. Během leptání nebo depozičních procesů se horké plyny nebo plazmy používají k úpravě povrchu křemíkové destičky. Teplota oplatky musí být ovládána, aby se zajistilo, že proces je prováděn efektivně a přesně. Žulové bloky s jejich nízkým koeficientem tepelné roztažnosti pomáhají stabilizovat teplotu oplatky, což snižuje riziko kolísání teploty, které by mohly ovlivnit kvalitu zpracovaného materiálu.
Kromě výrobních a zpracovatelských procesů se v metrologické a inspekční fázi výroby polovodičů používají také žulové komponenty. Metrologická měření jsou prováděna tak, aby byla zajištěna, že velikost, tvar a poloha struktur na destičce jsou v rámci požadovaných specifikací. Žulové bloky se v těchto měřeních používají jako referenční standardy kvůli jejich rozměrové stabilitě a přesnosti. Používají se také ve fázích inspekcí, kde je kvalita integrovaných obvodů kontrolována pod vysokým zvětšením.
Celkově se v posledních letech zvýšilo použití žulových komponent ve výrobě polovodičů. Potřeba vysoké přesnosti, přesnosti a stability při výrobě a zpracování integrovaných obvodů vedla k přijetí těchto materiálů výrobci polovodičů. Unikátní vlastnosti žuly, jako je jeho tvrdost, stabilita a koeficient nízkého tepelného roztažnosti, z něj činí vynikající volbu pro použití v těchto procesech. S pokračujícím vývojem a zlepšováním polovodičové technologie se očekává, že používání žulových komponent v budoucnu dále poroste.
Čas příspěvku: prosinec-05-2023