Žula je tvrdý a odolný materiál, který se často používá ve stavebnictví.Má však také vlastnosti, které jej činí užitečným při výrobě polovodičů, zejména při výrobě a zpracování integrovaných obvodů.Žulové komponenty, jako jsou žulové stoly a žulové bloky, jsou široce používány pro svou stabilitu, rovinnost a nízký koeficient tepelné roztažnosti.
Jedním z primárních použití žulových komponent při výrobě polovodičů je výrobní proces.Křemíkové destičky, základní stavební bloky integrovaných obvodů, musí být vyrobeny s vysokou přesností a přesností.Jakékoli zkreslení nebo pohyb během procesu může vést k poruchám, které mohou ovlivnit kvalitu a funkčnost integrovaných obvodů.Žulové stoly se svou vysokou stabilitou a rovinností poskytují dobrou platformu pro zařízení na zpracování oplatek.Jsou také odolné vůči tepelné roztažnosti a kontrakci způsobené ohřevem a chlazením požadovaným v procesu.
Žulové bloky se také používají při zpracování polovodičů pro svou tepelnou stabilitu.Během procesu leptání nebo depozice se k úpravě povrchu křemíkového plátku používají horké plyny nebo plazma.Teplota oplatky musí být řízena, aby se zajistilo, že proces bude proveden efektivně a přesně.Žulové bloky svým nízkým koeficientem tepelné roztažnosti pomáhají stabilizovat teplotu oplatky a snižují tak riziko teplotních výkyvů, které by mohly ovlivnit kvalitu zpracovávaného materiálu.
Kromě výrobních a zpracovatelských procesů se žulové komponenty používají také v metrologii a kontrolních fázích výroby polovodičů.Provádějí se metrologická měření, aby se zajistilo, že velikost, tvar a poloha struktur na plátku jsou v rámci požadovaných specifikací.Žulové bloky se při těchto měřeních používají jako referenční standardy kvůli jejich rozměrové stabilitě a přesnosti.Používají se také v kontrolních stupních, kde se kontroluje kvalita integrovaných obvodů pod velkým zvětšením.
Celkově se použití žulových součástek při výrobě polovodičů v posledních letech zvýšilo.Potřeba vysoké přesnosti, přesnosti a stability při výrobě a zpracování integrovaných obvodů vedla k přijetí těchto materiálů výrobci polovodičů.Jedinečné vlastnosti žuly, jako je její tvrdost, stabilita a nízký koeficient tepelné roztažnosti, z ní činí vynikající volbu pro použití v těchto procesech.S pokračujícím vývojem a zlepšováním polovodičové technologie se očekává, že použití žulových součástek v budoucnu dále poroste.
Čas odeslání: prosinec-05-2023