Žulové komponenty byly široce používány ve výrobním procesu polovodiče kvůli jejich vynikajícím vlastnostem, jako je vynikající povrch povrchu, vysoká tuhost a vynikající tlumení vibrací. Žulové komponenty jsou nezbytné pro polovodičové výrobní zařízení, včetně litografických strojů, lešticích strojů a metrologických systémů, protože poskytují přesné polohování a stabilitu během výrobního procesu. Přes všechny výhody používání žulových komponent mají také defekty. V tomto článku budeme diskutovat o vadách žulové komponenty pro produkty výroby polovodičů.
Nejprve mají žulové komponenty vysoký koeficient tepelné roztažnosti. To znamená, že se výrazně rozšiřují pod tepelným napětím, což by mohlo způsobit problémy během výrobního procesu. Proces výroby polovodičů vyžaduje vysokou přesnost a přesnost rozměru, která by mohla být ohrožena v důsledku tepelného napětí. Například deformace křemíku deformace v důsledku tepelné roztažnosti by mohla způsobit problémy se zarovnáním během litografie, což by mohlo ohrozit kvalitu polovodičového zařízení.
Za druhé, žulové komponenty mají defekty porozity, které by mohly způsobit úniky vakua ve výrobním procesu polovodiče. Přítomnost vzduchu nebo jakéhokoli jiného plynu v systému by mohla způsobit kontaminaci na povrchu oplatky, což by mělo za následek defekty, které by mohly ovlivnit výkon zařízení polovodičového zařízení. Inertní plyny, jako je argon a helium, by mohly proniknout do porézních žulových komponent a vytvořit plynové bubliny, které by mohly narušit integritu vakuového procesu.
Zatřetí, žulové komponenty mají mikrofraktury, které by mohly narušit přesnost výrobního procesu. Žula je křehký materiál, který by se mohl v průběhu času vyvinout mikrofraktury, zejména při vystavení konstantním cyklům stresu. Přítomnost mikrofraktů by mohla vést k rozměrové nestabilitě, což by způsobilo významné problémy během výrobního procesu, jako je zarovnání litografie nebo leštění oplatky.
Začtvrté, žulové komponenty mají omezenou flexibilitu. Proces výroby polovodičů vyžaduje flexibilní vybavení, které by mohlo vyhovět různým změnám procesu. Složky žuly jsou však přísné a nemohou se přizpůsobit různým změnám procesu. Proto jakékoli změny ve výrobním procesu vyžadují odstranění nebo výměnu žulových komponent, což vede k prostojům a ovlivňující produktivitu.
Za páté, žulové komponenty vyžadují zvláštní manipulaci a přepravu kvůli jejich hmotnosti a křehkosti. Žula je hustý a těžký materiál, který vyžaduje specializované manipulační zařízení, jako jsou jeřáby a zvedáky. Kromě toho vyžadují žulové komponenty pečlivé balení a přepravu, aby se zabránilo poškození během odeslání, což vede k dodatečným nákladům a času.
Závěrem lze říci, že žulové komponenty mají některé nevýhody, které by mohly ovlivnit kvalitu a produktivitu výrobních produktů pro výrobu polovodičů. Tyto vady by mohly být minimalizovány pečlivou manipulací a udržováním žulových složek, včetně periodické kontroly mikrofraktů a defektů porozity, řádného čištění, aby se zabránilo kontaminaci a pečlivé zacházení během přepravy. Navzdory vadám zůstávají žulové komponenty důležitou součástí výrobního procesu polovodiče díky jejich vynikající povrchové úpravě, vysoké tuhosti a vynikajícímu tlumení vibrací.
Čas příspěvku: prosinec-05-2023