Žulové komponenty byly široce používány v procesu výroby polovodičů díky svým vynikajícím vlastnostem, jako je vynikající povrchová úprava, vysoká tuhost a vynikající tlumení vibrací.Žulové komponenty jsou nezbytné pro zařízení na výrobu polovodičů, včetně litografických strojů, leštících strojů a metrologických systémů, protože poskytují přesné polohování a stabilitu během výrobního procesu.Přes všechny výhody použití žulových komponentů mají také vady.V tomto článku se budeme zabývat vadami žulových součástek pro produkty výrobního procesu polovodičů.
Za prvé, žulové komponenty mají vysoký koeficient tepelné roztažnosti.To znamená, že se při tepelném namáhání výrazně roztahují, což by mohlo způsobit problémy během výrobního procesu.Proces výroby polovodičů vyžaduje vysokou přesnost a rozměrovou přesnost, která by mohla být ohrožena tepelným namáháním.Například deformace křemíkové desky v důsledku tepelné roztažnosti by mohla způsobit problémy se zarovnáním během litografie, což by mohlo ohrozit kvalitu polovodičového zařízení.
Za druhé, žulové komponenty mají defekty poréznosti, které by mohly způsobit úniky vakua v procesu výroby polovodičů.Přítomnost vzduchu nebo jiného plynu v systému by mohla způsobit kontaminaci povrchu destičky, což by mělo za následek vady, které by mohly ovlivnit výkon polovodičového zařízení.Inertní plyny, jako je argon a helium, by mohly pronikat do porézních žulových součástí a vytvářet bubliny plynu, které by mohly narušovat integritu vakuového procesu.
Za třetí, žulové komponenty mají mikrofraktury, které by mohly narušit přesnost výrobního procesu.Žula je křehký materiál, který by mohl časem vyvinout mikrofraktury, zvláště když je vystaven neustálým napěťovým cyklům.Přítomnost mikrofraktur by mohla vést k rozměrové nestabilitě, což by během výrobního procesu způsobovalo významné problémy, jako je litografické zarovnání nebo leštění plátků.
Za čtvrté, žulové komponenty mají omezenou flexibilitu.Proces výroby polovodičů vyžaduje flexibilní vybavení, které by se mohlo přizpůsobit různým procesním změnám.Žulové komponenty jsou však tuhé a nemohou se přizpůsobit různým procesním změnám.Proto jakékoli změny ve výrobním procesu vyžadují odstranění nebo výměnu žulových součástí, což vede k prostojům a ovlivňuje produktivitu.
Za páté, žulové komponenty vyžadují speciální manipulaci a přepravu kvůli jejich hmotnosti a křehkosti.Žula je hustý a těžký materiál, který vyžaduje speciální manipulační zařízení, jako jsou jeřáby a zvedáky.Žulové komponenty navíc vyžadují pečlivé balení a přepravu, aby se zabránilo poškození během přepravy, což vede k dodatečným nákladům a času.
Závěrem lze říci, že žulové komponenty mají některé nevýhody, které by mohly ovlivnit kvalitu a produktivitu produktů výrobního procesu polovodičů.Tyto vady by mohly být minimalizovány pečlivým zacházením a údržbou žulových komponentů, včetně pravidelné kontroly mikrofraktur a defektů poréznosti, řádným čištěním, aby se zabránilo kontaminaci, a pečlivým zacházením během přepravy.Navzdory defektům zůstávají žulové komponenty důležitou součástí výrobního procesu polovodičů díky jejich vynikající povrchové úpravě, vysoké tuhosti a vynikajícímu tlumení vibrací.
Čas odeslání: prosinec-05-2023